[发明专利]一种密封工件的氦质谱检漏方法在审
| 申请号： | 201510039474.1 | 申请日： | 2015-01-26 |
| 公开（公告）号： | CN104568336A | 公开（公告）日： | 2015-04-29 |
| 发明（设计）人： | 张和毅 | 申请（专利权）人： | 上海贤日自动化设备有限公司 |
| 主分类号： | G01M3/20 | 分类号： | G01M3/20 |
| 代理公司： | 上海唯源专利代理有限公司 31229 | 代理人： | 汪家瀚 |
| 地址： | 201612 上海市嘉定*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种密封工件的氦质谱检漏方法，包括：提供一第一真空箱，将密封工件置于第一真空箱内；向第一真空箱内充注氦气，并进行密封保压；于第一真空箱内取出所述待检密封工件；提供一第二真空箱，将取出的密封工件置于第二真空箱内；对第二真空箱抽真空，并进行真空保压；利用氦质谱检漏仪对第二真空箱内的气体进行氦质谱检漏。本发明采用将氦分子压进抽出检测法，优点是检测灵敏度高，检漏精度高，根据被检封闭容器的耐压要求设定使用的含氦压力值，其压力越高，捡漏效率越高，能真实反映出被检封闭容器的泄漏量，不需专用的工装夹具，为提高生产效率，也可以多件同时检测，可以广泛用于温控发讯器等行业。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 密封 工件 氦质谱 检漏 方法 | ||
【主权项】：
一种密封工件的氦质谱检漏方法，其特征在于，包括以下步骤：提供一第一真空箱，将待检密封工件置于所述第一真空箱内；向所述第一真空箱内充注氦气，并进行密封保压；于所述第一真空箱内取出所述待检密封工件；提供一第二真空箱，将取出的所述待检密封工件置于所述第二真空箱内；对所述第二真空箱抽真空，并进行真空保压；利用氦质谱检漏仪对所述第二真空箱内的气体进行氦质谱检漏，对所述待检密封工件进行密封检验。
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