[发明专利]硅锭以及制造硅锭的方法在审
申请号: | 201510028140.4 | 申请日: | 2015-01-20 |
公开(公告)号: | CN104790027A | 公开(公告)日: | 2015-07-22 |
发明(设计)人: | N·卡斯帕雷;H-J·舒尔策 | 申请(专利权)人: | 英飞凌科技股份有限公司 |
主分类号: | C30B15/04 | 分类号: | C30B15/04;C30B29/06 |
代理公司: | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人: | 王茂华;吕世磊 |
地址: | 德国诺伊*** | 国省代码: | 德国;DE |
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摘要: | 本公开涉及硅锭以及制造硅锭的方法。硅锭的切克劳斯基生长的方法包括使硅材料与n型掺杂剂材料的混合物在坩埚中熔化。在提取时间段内从熔融硅中提取硅锭。在提取时间段的至少一部分内将硼添加至熔融硅。 | ||
搜索关键词: | 以及 制造 方法 | ||
【主权项】:
一种硅锭的切克劳斯基生长的方法,所述方法包括:使硅材料与n型掺杂剂材料的混合物在坩埚中熔化;在提取时间段内从熔融硅中提取所述硅锭;以及在所述提取时间段的至少一部分内将硼添加至所述熔融硅。
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