[发明专利]用于检测基板的边缘的设备有效
| 申请号： | 201510020858.9 | 申请日： | 2015-01-15 |
| 公开（公告）号： | CN104777168B | 公开（公告）日： | 2018-06-05 |
| 发明（设计）人： | 成始澔 | 申请（专利权）人： | 康宁精密素材株式会社 |
| 主分类号： | G01N21/88 | 分类号： | G01N21/88;G01B11/02 |
| 代理公司： | 北京德琦知识产权代理有限公司 11018 | 代理人： | 周艳玲;王琦 |
| 地址： | 韩国忠*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 一种用于检测基板的边缘的设备可以检测基板的边缘部分的缺陷或倒角宽度。第一直角棱镜和第二直角棱镜被设置在所述边缘部分的上方和下方，使得该第一直角棱镜的倾斜表面和该第二直角棱镜的倾斜表面朝向所述边缘部分的上表面和下表面。发光部件用光照射所述基板的边缘部分。拍摄部件被设置为邻近所述边缘部分。所述拍摄部件由已经通过所述第一直角棱镜的光拍摄所述边缘部分的上表面的图像，由已经通过所述第二直角棱镜的光拍摄所述边缘部分的下表面的图像，并拍摄所述边缘部分的端表面的图像。 | ||
| 搜索关键词： | 直角棱镜 基板 拍摄部件 倾斜表面 上表面 下表面 图像 拍摄 检测 发光部件 端表面 光照射 倒角 邻近 | ||
【主权项】：
一种用于检测基板的边缘部分的设备，包括：第一直角棱镜，被设置在基板的边缘部分的上方，使得该第一直角棱镜的倾斜表面朝向所述基板的边缘部分的上表面；第二直角棱镜，被设置在所述基板的边缘部分的下方，使得该第二直角棱镜的倾斜表面朝向所述基板的边缘部分的下表面；发光部件，用光直接照射所述基板的边缘部分；和拍摄部件，被设置为邻近所述基板的边缘部分，其中所述拍摄部件由已经通过所述第一直角棱镜的光拍摄所述基板的边缘部分的上表面的图像，由已经通过所述第二直角棱镜的光拍摄所述基板的边缘部分的下表面的图像，并拍摄所述基板的边缘部分的端表面的图像，其中所述发光部件被设置在所述基板的边缘部分的侧部。
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