[发明专利]一种晶硅太阳能电池片料架的搬运装置有效
申请号: | 201510009489.3 | 申请日: | 2015-01-08 |
公开(公告)号: | CN104617023B | 公开(公告)日: | 2017-08-22 |
发明(设计)人: | 李广旭;袁正;李补忠;王广明 | 申请(专利权)人: | 北京七星华创电子股份有限公司 |
主分类号: | H01L21/677 | 分类号: | H01L21/677;H01L31/18 |
代理公司: | 上海天辰知识产权代理事务所(特殊普通合伙)31275 | 代理人: | 陶金龙,张磊 |
地址: | 100016 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明公开了一种晶硅太阳能电池片料架的搬运装置,通过在支撑框架设置依次正交移动连接的X轴直线移动机构、Z轴直线升降机构、Y轴直线进给机构和前端抓取机构,使前端抓取机构可通过Y轴直线进给机构、Z轴直线升降机构、X轴直线移动机构依次带动进行三轴向直线运动,实现在不同目标位置的工艺设备间对料架进行取放和搬运,能够精确、平稳地完成抓取、移载、放置料架动作,具有性能稳定、安全可靠、装卸容易的显著特点,可提高生产效率及最终产品质量,并最大可能地降低硅片损坏率。 | ||
搜索关键词: | 一种 太阳能电池 片料架 搬运 装置 | ||
【主权项】:
一种晶硅太阳能电池片料架的搬运装置,其特征在于,包括:支撑框架,为立体框架结构,具有前侧开口面;所述支撑框架的上端水平连接有支撑板;X轴直线移动机构,跨设于所述支撑框架的上端,设有第一运动件,用以受驱动作平行于所述前侧开口面的水平X轴方向运动;所述X轴直线移动机构包括齿形带式带滚动导轨电缸、第一驱动电机,所述齿形带式带滚动导轨电缸包括型材支架、左、右端盖、同步带轮、同步带、导轨和第一滑块,所述型材支架水平跨设于所述支撑框架的上端,并固定在所述支撑板上侧,所述左、右端盖位于所述型材支架两端,所述同步带轮内置于所述端盖中,所述同步带绕设于所述同步带轮上,并内置于所述型材支架中,所述导轨位于所述型材支架外侧并朝向所述前侧开口面,所述第一滑块作为所述第一运动件设于所述导轨上,并与所述同步带固接,所述第一驱动电机经减速器通过法兰连接在所述齿形带式带滚动导轨电缸的右端盖后侧,其电机轴通过减速器、联轴器与所述齿形带式带滚动导轨电缸的输入轴形成同步转动连接;Z轴直线升降机构,与所述X轴直线移动机构正交设置,并连接所述第一运动件,所述Z轴直线升降机构设有第二运动件,用以受驱动作平行于所述前侧开口面的垂直Z轴方向运动,并跟随所述第一运动件沿水平X轴方向运动;所述Z轴直线升降机构包括丝杠升降模组、第二驱动电机,所述丝杠升降模组包括丝杠支架、丝杠、第二滑块和固定平台,所述丝杠支架通过第一连接板垂直连接所述第一滑块,所述丝杠设于所述丝杠支架内,所述第二滑块作为所述第二运动件配合设于所述丝杠上,所述固定平台固定在所述第二滑块上,所述第二驱动电机经减速器通过法兰连接在所述丝杠支架的上端,其电机轴通过减速器、联轴器与所述丝杠上端的输入轴形成同步转动连接;Y轴直线进给机构,与所述Z轴直线升降机构正交设置,并连接所述第二运动件,所述Y轴直线进给机构设有第三运动件,用以受驱动作垂直于所述前侧开口面的水平Y轴方向运动,并跟随所述第二运动件沿Z轴和X轴方向运动;所述Y轴直线进给机构包括水平设置的滑台式气缸,所述气缸通过第二连接板连接所述固定平台,并通过其滑台作为所述第三运动件连接前端抓取机构;前端抓取机构,与所述Y轴直线进给机构正交设置,并连接所述第三运动件,所述前端抓取机构设有第四运动件,用以受驱动抓取所述料架,并跟随所述第三运动件沿Y轴、Z轴和X轴方向运动,将位于所述前侧开口面外侧的所述料架在不同目标位置间取放和搬运;所述前端抓取机构包括第三连接板及上下相对设于所述第三连接板上的一对平行张紧气爪,所述张紧气爪连接朝向所述第三连接板外侧并作为所述第四运动件的一对左右抓取连接块,所述抓取连接块设有柔性抓取手指,所述第三连接板垂直连接所述气缸的滑台。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
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