[发明专利]对基板作业机

摘要

在进行以设于基板的基准标记为基准的对基板作业的对基板作业机中，在对设有整体基准标记(FM1)和成为局部区域(A)的基准的局部区域基准标记(FM2)作为基准标记的基板进行对基板作业的情况下，在通过拍摄而识别这些基准标记时，进行应识别的基准标记是否被识别出的确认。在通过作为基准标记而确定的拍摄对象距正规位置的位置偏差量(ΔX、ΔY)、相对位置偏差量(ΔL)是否处于设定公差的范围内来进行该确认时，使局部区域基准标记的设定公差(TΔX2、TΔY2、TΔL2)设定得小于整体基准标记的设定公差(TΔX1、TΔY1、TΔL1)。通过将设定公差那样设定，能够可靠地进行确认处理。

主权项

1.一种对基板作业机，具备：基板固定装置，固定基板；对基板作业装置，对固定于该基板固定装置的基板进行作业；拍摄装置，拍摄固定于该基板固定装置的基板的表面；及控制装置，在由该拍摄装置拍摄到的拍摄对象的位置偏差量处于设定公差的范围内的情况下，识别为该拍摄对象是基准标记，并且为了执行以该识别出的基准标记为基准的作业而控制所述对基板作业装置，所述对基板作业机的特征在于，在固定于所述基板固定装置的基板是设有表示基板整体的基准的整体基准标记和表示局部区域的基准的局部区域基准标记作为所述基准标记的基板的情况下，用于识别所述局部区域基准标记的所述设定公差被设定得小于用于识别所述整体基准标记的所述设定公差，在固定于所述基板固定装置的基板是设有相互分离的一对整体基准标记作为所述整体基准标记并对一个局部区域设有相互分离的一对局部区域基准标记作为所述局部区域基准标记的基板的情况下，用于识别所述整体基准标记的设定公差包含对这一对整体基准标记的分离距离的设定公差作为所述一对整体基准标记的相对位置偏差量的设定公差，用于识别所述局部区域基准标记的设定公差包含对这一对局部区域基准标记的分离距离的设定公差作为所述一对局部区域基准标记的相对位置偏差量的设定公差，对所述一对局部区域基准标记的分离距离的设定公差被设定得小于对所述一对整体基准标记的分离距离的设定公差。