[发明专利]对基板作业机

权利要求书

1.一种对基板作业机，具备：

基板固定装置，固定基板；

对基板作业装置，对固定于该基板固定装置的基板进行作业；

拍摄装置，拍摄固定于该基板固定装置的基板的表面；及

控制装置，在由该拍摄装置拍摄到的拍摄对象的位置偏差量处于设定公差的范围内的情况下，识别为该拍摄对象是基准标记，并且为了执行以该识别出的基准标记为基准的作业而控制所述对基板作业装置，

所述对基板作业机的特征在于，

在固定于所述基板固定装置的基板是设有表示基板整体的基准的整体基准标记和表示局部区域的基准的局部区域基准标记作为所述基准标记的基板的情况下，用于识别所述局部区域基准标记的所述设定公差被设定得小于用于识别所述整体基准标记的所述设定公差，

在固定于所述基板固定装置的基板是设有相互分离的一对整体基准标记作为所述整体基准标记并对一个局部区域设有相互分离的一对局部区域基准标记作为所述局部区域基准标记的基板的情况下，

用于识别所述整体基准标记的设定公差包含对这一对整体基准标记的分离距离的设定公差作为所述一对整体基准标记的相对位置偏差量的设定公差，用于识别所述局部区域基准标记的设定公差包含对这一对局部区域基准标记的分离距离的设定公差作为所述一对局部区域基准标记的相对位置偏差量的设定公差，

对所述一对局部区域基准标记的分离距离的设定公差被设定得小于对所述一对整体基准标记的分离距离的设定公差。

2.根据权利要求1所述的对基板作业机，其中，

对所述一对整体基准标记的分离距离的设定公差及对所述一对局部区域基准标记的分离距离的设定公差被设定为与它们的分离距离对应的大小。