[发明专利]对基板作业机

说明书

在进行以设于基板的基准标记为基准的对基板作业的对基板作业机中，在对设有整体基准标记(FM1)和成为局部区域(A)的基准的局部区域基准标记(FM2)作为基准标记的基板进行对基板作业的情况下，在通过拍摄而识别这些基准标记时，进行应识别的基准标记是否被识别出的确认。在通过作为基准标记而确定的拍摄对象距正规位置的位置偏差量(ΔX、ΔY)、相对位置偏差量(ΔL)是否处于设定公差的范围内来进行该确认时，使局部区域基准标记的设定公差(TΔX2、TΔY2、TΔL2)设定得小于整体基准标记的设定公差(TΔX1、TΔY1、TΔL1)。通过将设定公差那样设定，能够可靠地进行确认处理。

技术领域

本发明涉及向基板装配电子元件的元件装配机等对基板进行作业的对基板作业机。

背景技术

在元件装配机等对基板作业机中，通过基板固定装置将基板固定，对于该固定的基板，进行电子元件的装配、粘结剂的涂布、检查等对基板作业。上述的对基板作业基于通过基板固定装置固定的基板的位置(以下，有时称为“固定位置”)进行，在大多数的对基板作业机中，通过拍摄装置拍摄设于基板的基准标记，基于其拍摄结果来取得该固定位置。即，对基板作业以识别出的基准标记为基准进行。另一方面，如下述专利申请记载那样，在一部分的基板中，出于需要提高对基板作业的精度等理由，除了成为基板整体的位置基准的整体基准标记之外，还设有成为局部的基板的区域(以下，有时称为“局部区域”)的基准的局部区域基准标记，该局部区域的对基板作业以该局部区域基准标记为基准进行。

专利文献

专利文献1：日本特开2003-101300号公报

发明内容

发明要解决的课题

在基板中，印制配线的焊盘等各种物体设于表面或者被显示，在通过拍摄来识别基准标记的情况下，进行拍摄对象为基准标记这一情况的确认即用于确认应识别的基准标记被识别出这一情况的处理。该确认处理希望可靠地进行，特别是在整体基准标记与局部区域基准标记并列设置那样的基板中，由于基准标记的个数多而且对基板作业要求高精度等原因，满足上述愿望的情况与提高对基板作业机的实用性的情况息息相关。本发明鉴于这样的实际情况而作出，课题在于提供一种实用性高的对基板作业机。

用于解决课题的方案

为了解决上述课题，本发明的对基板作业机具备：基板固定装置，固定基板；对基板作业装置，对固定于该基板固定装置的基板进行作业；拍摄装置，拍摄固定于该基板固定装置的基板的表面；及控制装置，在由该拍摄装置拍摄到的拍摄对象的位置偏差量处于设定公差的范围内时，识别为该拍摄对象是基准标记，并且为了执行以该识别出的基准标记为基准的作业而控制所述对基板作业装置，所述对基板作业机的特征在于，在固定于所述基板固定装置的基板是设有表示基板整体的基准的整体基准标记和表示局部区域的基准的局部区域基准标记作为所述基准标记的基板的情况下，用于识别所述局部区域基准标记的所述设定公差被设定得小于用于识别所述整体基准标记的所述设定公差。

顺便提及，本发明的上述“拍摄对象”是指拍摄到的图像中的被确定为基准标记的物体，如果拍摄对象是基准标记，则“拍摄对象的位置偏差量”是指拍摄对象的位置距该基准标记应存在的位置(也可以称为“正规位置”、“理论位置”等)的偏差。需要说明的是，“对于固定的基板进行的作业”即“对基板作业”包括元件的装配作业、在该装配作业之前进行的粘结剂涂布作业、检查装配作业的结果的检查作业等各种作业，同样，“对基板作业装置”包括元件装配装置、粘结剂涂布装置、检查装置等各种装置，而且，“对基板作业机”包括元件装配机、粘结剂涂布机、检查机等各种结构。此外，“局部区域”相当于例如在1个基板由电路图案相同的多个子基板构成时的这多个子基板中的一个。而且，例如关于在元件装配作业中特别要求精度的元件的装配，在该元件的附近设置基准标记，存在以该基准标记为基准进行该元件的装配的情况，这种情况下的装配该元件的区域及其附近的区域也相当于局部区域。