[发明专利]分光器以及具备该分光器的发射光谱分析装置

摘要

在具有波长色散元件(123)、光检测器(124a～124c)、以及收纳它们的腔室(121)的分光器中，设置有排气管(128)，其用于将腔室(121)内部的气体排出；气体供给源(150)，其填充有被压缩至大气压以上的惰性气体；冷却单元(151b、152b、153b)，其通过将惰性气体从气体供给源(150)导入至腔室(121)内并使该惰性气体膨胀来使腔室(121)内的温度降低；温度传感器(127)，其检测腔室(121)内的温度；以及制御手段(140)，其控制冷却单元(151b、152b、153b)，以使由温度传感器(127)检测到的温度成为目标温度。由此，能够以低于现有技术的温度对分光器进行温调，并能够减轻由光检测器的暗电流导致的背景的影响。

主权项

一种分光器，其特征在于，具有：a)波长色散元件，其对被测定光进行波长色散；b)光检测器，其检测由所述波长色散元件进行了波长色散的光；c)腔室，其收纳有所述波长色散元件以及所述光检测器；d)气体排出口，其将气体从所述腔室的内部向外部排出；e)惰性气体供给源，其填充有被压缩至大气压以上的惰性气体；f)冷却单元，其通过将所述惰性气体从所述惰性气体供给源导入至所述腔室的内部，来使该惰性气体在该腔室的内部膨胀而使该腔室内的温度降低；g)温度检测单元，其检测所述腔室内的温度；以及h)控制单元，其控制所述冷却单元，以使由所述温度检测单元检测到的温度成为预先规定的目标温度。