[发明专利]被覆膜及其制造方法有效
| 申请号： | 201480082001.3 | 申请日： | 2014-09-17 |
| 公开（公告）号： | CN107075659B | 公开（公告）日： | 2020-07-28 |
| 发明（设计）人： | 森口秀树;斋藤乔士;田中祥和;柴田明宣;荒樋彻美;小川胜明;冈崎孝弘;杉浦宏幸;伊东义洋 | 申请（专利权）人： | 日本ITF株式会社;日本活塞环株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/06 | 分类号： | C23C14/06;C01B32/05 |
| 代理公司： | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人： | 杨贝贝;臧建明 |
| 地址： | 日本京都府京都*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种不仅充分地改善低摩擦性与耐磨损性的并存且改善耐碎片性或耐剥离性的被覆膜及其制造方法以及PVD装置。一种被覆膜，被覆在基材的表面上，且具有在通过明视场TEM图像对截面进行观察时相对地以黑白显示的硬质碳，白色的硬质碳在厚度方向上相连成网格状、黑色的硬质碳分散在网格的间隙中的网格状硬质碳层是使用PVD法而形成，在利用拉曼分光法对网格状硬质碳层进行测定时，拉曼分光光谱的D频带与G频带的波峰的面积强度比ID/IG比为1～6。本发明使用电弧式PVD法，以将基材温度维持于超过200℃且为300℃以下的方式控制偏向电压、电弧电流、加热器温度等，并且一面使基材自转和/或公转一面在基材的表面上被覆硬质碳膜。 | ||
| 搜索关键词： | 被覆 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种被覆膜，被覆在基材的表面上，并且所述被覆膜的特征在于，具有在通过明视场透射式电子显微镜图像对截面进行观察时相对地以黑白显示的硬质碳，白色的硬质碳在厚度方向上相连成网格状，黑色的硬质碳分散在所述网格的间隙中而形成网格状硬质碳层，其中所述网格状硬质碳层是使用物理气相沉积法而形成，在利用拉曼分光法对所述网格状硬质碳层进行测定时，拉曼分光光谱的D频带与G频带的波峰的面积强度比ID/IG比为1～6。
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