[发明专利]针对较好的均匀性和增加的边缘寿命的平坦边缘设计有效
| 申请号： | 201480079601.4 | 申请日： | 2014-06-13 |
| 公开（公告）号： | CN106460147B | 公开（公告）日： | 2020-02-11 |
| 发明（设计）人： | S·劳;R·林德伯格;M·哈尼卡 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/50;C23C16/04;C23C16/458 |
| 代理公司： | 31100 上海专利商标事务所有限公司 | 代理人： | 侯颖媖 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 描述一种用以在基板上沉积层的边缘排除掩模。边缘排除掩模包括具有边缘的边缘区域，其中边缘适于具有20°或更小的相对于基板的倾斜角。 | ||
| 搜索关键词： | 针对 较好 均匀 增加 边缘 寿命 平坦 设计 | ||
【主权项】：
1.一种用以在基板(100)上沉积层的边缘排除掩模(240)，所述边缘排除掩模包括具有边缘(200)的边缘区域(201)，其中所述边缘适于具有20°或更小的相对于所述基板的倾斜角，其中所述掩模的表面包括数个凸部(215)，且其中所述掩模的四个角落中的每一个具有切口。/n
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