[发明专利]用于材料的光离解多脉冲处理的技术

摘要

在此披露一种用于激光处理材料的方法和设备。在该方法和设备中，脉冲激光辐射的衍射限制光束由衍射装置衍射以便产生脉冲激光辐射的衍射光束。该衍射光束随后被聚焦到该材料上并且在时间和空间上被控制以便在目标位置处利用来自该衍射光束的一组辐射脉冲的辐射来辐射该材料，这样使得来自该组辐射脉冲的每个辐射脉冲以该衍射光束的截面部分入射在该目标位置处，该截面部分包括该衍射光束的局部强度最大值。该组辐射脉冲的这些脉冲的至少一子集的这些光束截面部分各自包括不同局部强度最大值。以此方式，用于在该材料的目标位置处产生光离解的多脉冲施加可以被实施。

主权项

1.一种用于激光处理材料的设备，该设备包括：激光源(14)，该激光源被配置成提供脉冲激光辐射的衍射极限光束(30)；衍射装置(18)，该衍射装置被配置成衍射该衍射极限光束以便产生脉冲激光辐射的衍射光束(30diff)；聚焦装置(22)，该聚焦装置被配置成将该衍射光束聚焦到该材料上；以及控制器(24)，该控制器被配置成：在时间和空间上控制该衍射光束以便在相同目标位置处利用来自该衍射光束的一组辐射脉冲的辐射来辐射该材料，这样使得来自该组辐射脉冲的每个辐射脉冲以该衍射光束的截面部分入射在相同目标位置处以对该材料进行激光处理，该截面部分包括该衍射光束的局部强度最大值，该组辐射脉冲的这些辐射脉冲的至少一子集的这些截面部分各自包括不同的局部强度最大值，该衍射光束的这些局部强度最大值的至少一子集沿着线分布，和控制该衍射光束以便相对于该材料在该线的方向上在目标位置上方移动该衍射光束。