[发明专利]真空处理系统以及用于装配处理系统的方法有效
| 申请号： | 201480077772.3 | 申请日： | 2014-04-02 |
| 公开（公告）号： | CN106164330B | 公开（公告）日： | 2021-01-26 |
| 发明（设计）人： | F·里斯;S·海因;J·亨里奇;A·索尔 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | C23C14/52 | 分类号： | C23C14/52;C23C14/56;C23C16/54 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 侯颖媖 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 提供了一种用于柔性基板(260；560)的真空处理系统(100)。所述真空处理系统包括：第一腔室(110)，适用于容纳供应辊和收卷辊中的一者，所述供应辊用于提供柔性基板，所述收卷辊用于储存柔性基板(260；560)；第二腔室(120)，适用于容纳供应辊和收卷辊中的一者，所述供应辊用于提供柔性基板，所述收卷辊用于储存柔性基板(260；560)；维护区(130；330；430)，在所述第一腔室(110)与所述第二腔室(120；220；420；520)之间；以及第一工艺腔室(140)，用于在柔性基板上沉积材料，其中所述第二腔室(120)设在所述维护区(130)与所述第一工艺腔室(140)之间。所述维护区(130)允许对所述第一腔室(110)和所述第二腔室(120)中的至少一者的维护接取。 | ||
| 搜索关键词： | 真空 处理 系统 以及 用于 装配 方法 | ||
【主权项】：
一种用于柔性基板(160)的真空处理系统(100；200；400)，所述处理系统包括：第一腔室(110；310；410)，适用于容纳供应辊和收卷辊中的一者，所述供应辊用于提供所述柔性基板，所述收卷辊用于储存所述柔性基板(160)；第二腔室(120；320；420)，适用于容纳供应辊和收卷辊中的一者，所述供应辊用于提供所述柔性基板，所述收卷辊用于储存所述柔性基板(160)；维护区(130；330；430)，在所述第一腔室(110；310；410)与所述第二腔室(120；320；420)之间；第一工艺腔室(140；340；440)，用于在所述柔性基板上沉积材料，其中所述第二腔室(120；320；420)设在所述维护区(130；330；430)与所述第一工艺腔室(110；310；410)之间；其中所述维护区(130；330；430)允许至所述第一腔室(110；310；410)和所述第二腔室(120；320；420)中的至少一者或对所述第一腔室(110；310；410)和所述第二腔室(120；320；420)中的至少一者的维护接取。
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