[发明专利]太阳能电池的制造方法以及太阳能电池

摘要

目的在于使扩散层的浓度控制变容易，并通过受光面的表面浓度的低浓度化、电极下的杂质浓度的高浓度实现高效化。当在形成有受光面的扩散层2的基板1的第1面1A的一部分形成高浓度扩散层5时，在形成扩散源的状态下进行热氧化，从而将受光面的扩散层2的最表面的杂质取入到热氧化膜6中。由此受光面的扩散层2的最表面的杂质浓度比内侧的杂质浓度低。

主权项

1.一种太阳能电池的制造方法，包括：准备具有构成受光面的第1面和与所述第1面对置的第2面的第1导电类型的半导体基板的工序；第1扩散工序，在所述第1面形成第2导电类型的扩散层；第2工序，在形成有所述第2导电类型的扩散层的所述半导体基板的所述第1面的一部分，形成包含第2导电类型的扩散源的膜；第3工序，在氧化气氛中对形成有所述扩散源的所述半导体基板进行热处理，通过来自所述扩散源的扩散而形成高浓度扩散层，并且形成氧化膜；在所述高浓度扩散层上形成第1电极的工序；以及在所述第2面形成第2电极的工序。