[发明专利]用于处理基板的太阳能电池生产装置，及用于处理用于产生太阳能电池的基板的方法有效
| 申请号： | 201480076871.X | 申请日： | 2014-12-02 |
| 公开（公告）号： | CN106104818B | 公开（公告）日： | 2021-02-09 |
| 发明（设计）人： | L·德桑蒂;D·吉斯隆;A·巴希尼;T·瓦塞斯;G·帕斯奎林 | 申请（专利权）人： | 应用材料意大利有限公司 |
| 主分类号： | H01L31/18 | 分类号： | H01L31/18 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 高见 |
| 地址： | 意大利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本公开提供一种用于处理基板的太阳能电池生产装置。所述太阳能电池生产装置包括：至少一个基板支撑件(12)，经配置以支持所述基板(10)；一个或多个印刷站(11)，经配置以供在定位于所述基板支撑件(12)上的所述基板(10)上形成印刷结构；及检查系统，包括至少一个第一相机(180)，其中所述至少一个第一相机(180)经配置，以在所述基板经过所述至少一个第一相机(180)的视场时，检测定位于所述基板支撑件(12)上的所述基板(10)上的所述印刷结构的位置。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 处理 太阳能电池 生产 装置 产生 方法 | ||
【主权项】：
一种用于处理基板的太阳能电池生产装置，包括：至少一个基板支撑件，经配置以支持所述基板；一个或多个印刷站，经配置以在定位于所述基板支撑件上的所述基板上形成印刷结构；及检查系统，包括至少一个第一相机，其中所述至少一个第一相机经配置以在定位于所述基板支撑件上的所述基板经过所述至少一个第一相机的视场时，检测所述基板上的所述印刷结构的位置。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射，或微粒辐射敏感的，并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的，或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件；专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的，例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的，一个或多个电光源，如场致发光光源在结构上相连的，并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射，或微粒辐射敏感的，并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的，或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件；专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的，例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的，一个或多个电光源，如场致发光光源在结构上相连的，并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
