[发明专利]双层氮化铬涂布的制品及相关方法有效

专利信息
申请号: 201480074830.7 申请日: 2014-02-03
公开(公告)号: CN105940139B 公开(公告)日: 2019-12-24
发明(设计)人: R·L·史密斯;M·A·菲奇;G·E·威格森 申请(专利权)人: 美国威格森技术有限公司
主分类号: C23C14/06 分类号: C23C14/06;C23C14/22;C23C28/00
代理公司: 44205 广州嘉权专利商标事务所有限公司 代理人: 江侧燕
地址: 美国*** 国省代码: 美国;US
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摘要: 用于在基底上方形成氮化铬涂层的方法,以提供氮化铬涂布的制品,制得的氮化铬涂布的制品每个使用含有材料层的双层氮化铬。含有材料层的双层氮化铬包括:(1)第一氮化铬材料层,其具有第一厚度、第一均匀的铬浓度和第一均匀的氮浓度,其位于且形成于靠近提供制品的基底;及(2)第二氮化铬材料层,其具有第二厚度、第二梯度增加的铬浓度和第二梯度减小的氮浓度,其位于且形成于第一氮化铬材料层上。具体的含有材料层的双层氮化铬提供具有优异的反射性和抗裂性的制品。
搜索关键词: 双层 氮化 铬涂布 制品 相关 方法
【主权项】:
1.一种制品,包括:/n基底;/n位于所述基底上方的第一氮化铬材料层,所述第一氮化铬材料层具有第一厚度、第一均匀的铬浓度和第一均匀的氮浓度,所述第一均匀的铬浓度和所述第一均匀的氮浓度提供的原子比是1:1;以及/n位于所述第一氮化铬材料层上的第二氮化铬材料层以具有1:1的Cr:N原子比组成的氮化铬材料开始,所述第二氮化铬材料层具有第二厚度、第二逐渐梯度增加的铬浓度和第二逐渐梯度减小的氮浓度,所述第二逐渐梯度增加的铬浓度和所述第二逐渐梯度减小的氮浓度结束于所述第二氮化铬材料层的暴露面的纯铬材料或铬相对富集的氮化铬材料;/n所述第一厚度是200至1000纳米;/n所述第二厚度是100至150纳米;/n其中所述基底包括有机聚合物材料。/n
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