[发明专利]RTP灯基座改良有效
申请号: | 201480071662.6 | 申请日: | 2014-11-21 |
公开(公告)号: | CN105934815B | 公开(公告)日: | 2019-07-26 |
发明(设计)人: | 约瑟夫·M·拉内什;道格拉斯·R·麦卡利斯特 | 申请(专利权)人: | 应用材料公司 |
主分类号: | H01L21/324 | 分类号: | H01L21/324 |
代理公司: | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人: | 徐金国;赵静 |
地址: | 美国加利*** | 国省代码: | 美国;US |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 提供用于基板热处理的灯装置。所述灯装置包括密封灯丝的灯泡,所述灯丝具有一对导线。所述灯装置进一步包括灯基座。所述灯基座包括:将灯泡连接到灯基座的密封件;具有一个或多个壁以及两个端部的衬套,所述两个端部中的一个端部围绕所述密封件;填充衬套的封装化合物;一个或多个线,穿过衬套以及封装化合物而分布并与所述一对导线耦接;以及位于密封端部10mm范围内的一个或多个可挂钩特征。 | ||
搜索关键词: | rtp 基座 改良 | ||
【主权项】:
1.一种用于基板的热处理的灯装置,所述灯装置包括:灯泡,所述灯泡密封灯丝,所述灯丝与一对导线耦接;以及灯基座,所述灯基座包括:密封件,所述密封件将所述灯泡连接到所述灯基座,其中所述灯泡在第一方向上延伸离开所述灯基座;衬套,所述衬套具有一个或多个壁和两个端部,其中所述两个端部中的一个端部为围绕所述密封件的密封端部;一个或多个线,所述一个或多个线穿过所述衬套而分布并与所述一对导线耦接;以及一个或多个可挂钩特征,所述一个或多个可挂钩特征与所述一对导线电隔离,所述一个或多个可挂钩特征位于所述密封端部的10mm范围内以使挂钩的使用能够,当所述挂钩与所述可挂钩特征之一接合时,通过在所述第一方向上拖拉所述挂钩从电连接位置断开和移除所述灯装置。
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于应用材料公司,未经应用材料公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/201480071662.6/,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:固态图像传感器、成像装置和电子设备
- 下一篇:图像阵列中的局部化现象的修正
- 同类专利
- 专利分类
H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造