[发明专利]用于在电子装置制造中传输基板的机械手设备、驱动组件和方法

摘要

披露了一种传输基板的机械手设备。所述机械手设备可包括上臂、前臂、腕部构件及末端执行器，所述前臂可相对于所述上臂独立旋转，所述腕部构件可相对于所述前臂独立旋转，所述末端执行器适合于承载基板。在某些方面中，独立旋转由机械手驱动组件提供，所述机械手驱动组件具有第二驱动滑轮，所述第二驱动滑轮经安装以在第一驱动滑轮上旋转。在另一个方面中，披露了机械手驱动组件，这些机械手驱动组件包括安装于基座及安装于腹板上的滑轮。如数个其他方面，提供了机械手驱动组件及运作的方法。

主权项

一种机械手设备，所述机械手设备包括：上臂，所述上臂包括上臂壳体，所述上臂壳体具有内侧端和外侧端；前臂，所述前臂具有前臂壳体，所述前臂壳体经耦接以用于在所述外侧端处旋转至所述上臂壳体；腕部构件，所述腕部构件经耦接以用于旋转至所述前臂壳体；末端执行器，所述末端执行器耦接至所述腕部构件且经配置及适合于承载基板；和驱动组件，所述驱动组件经配置及适合于使所述前臂相对于所述上臂独立旋转及使所述腕部构件相对于所述前臂独立旋转，两个旋转皆在X‑Y平面中，所述驱动组件进一步包括：第一驱动滑轮，所述第一驱动滑轮经耦接以用于旋转至所述上臂壳体的第一导件，和第二驱动滑轮，所述第二驱动滑轮经耦接以用于旋转至第二导件，所述第二导件附接至所述第一驱动滑轮的顶部；其中所述第一驱动滑轮和所述第二驱动滑轮具有第一公共轴，第一从动滑轮，所述第一从动滑轮通过第一传送构件直接耦接至所述第一驱动滑轮；和第二从动滑轮，所述第二从动滑轮通过第二传送构件直接耦接至所述第二驱动滑轮，其中所述第一从动滑轮和所述第二从动滑轮具有第二公共轴。