[发明专利]波长可调谐的MEMS-法布里-珀罗滤波器有效
| 申请号： | 201480070223.3 | 申请日： | 2014-11-25 |
| 公开（公告）号： | CN106133563B | 公开（公告）日： | 2019-11-19 |
| 发明（设计）人： | M·卡迈勒;T·李;D·尤;漆启年 | 申请（专利权）人： | 英菲尼斯有限责任公司 |
| 主分类号： | G02B5/28 | 分类号： | G02B5/28;B81B3/00 |
| 代理公司： | 44205 广州嘉权专利商标事务所有限公司 | 代理人： | 赵东明<国际申请>=PCT/US2014 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 将一种基于法布里‑珀罗(FP)滤波腔调谐的使用微机电系统(MEMS)的波长可调谐增益介质设置为可调谐激光器。所述系统包括激光腔以及用于波长选择的滤波腔。所述激光腔由如半导体光放大器(SOA)等增益介质、两个准直透镜以及一端部反射镜组成。所述MEMS‑FP滤波腔包括可通过静电力控制的固定反射镜以及可移动反射镜。通过移动MEMS反射镜，能够通过改变FP滤波腔长度来调谐波长。所述MEMS‑FP滤波腔的位移能够通过使用阶梯电压来离散调谐或通过使用连续的驱动电压来连续调谐。用于连续调谐的驱动频率能够为MEMS结构的谐振频率或任何其它频率，并且调谐范围能够覆盖如30nm、40nm以及超过100nm等不同的调谐范围。 | ||
| 搜索关键词： | 波长 调谐 mems 法布里 滤波器 | ||
【主权项】：
1.一种可调谐MEMS-FP滤波器，包括：/n具有上表面和下表面的半导体或介电衬底,所述半导体或介电衬底配置为透射波长范围为100-3000nm的光；/n配置为接收输入光且连接至所述衬底下表面的固定反射镜；/n设置在所述衬底上表面的底部电极，以及设置在所述衬底上表面的抗反射涂层；/n具有上表面和下表面的可移动反射镜，所述可移动反射镜由一个或多个悬挂梁支撑，并且包括MEMS、多层介电DBR反射镜以及设置在所述可移动反射镜上表面的顶部电极，其中在所述可移动反射镜的下表面和所述衬底的上表面之间形成气隙；/n其中在所述固定反射镜和可移动反射镜之间形成光腔，并且所述光腔包括固定反射镜和底部电极之间的部分衬底；以及/n在所述顶部电极和底部电极之间提供电压以改变所述光腔腔长的电压源。/n
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