[发明专利]感光性转印材料、图案形成方法及蚀刻方法

摘要

本发明提供一种感光性转印材料、图案形成方法及蚀刻方法，所述感光性转印材料包括支撑体与感光性树脂组合物层，前述感光性树脂组合物层含有(A)包含聚合物的聚合物成分及(B)光酸产生剂，所述聚合物含有具有酸基由酸分解性基保护的基团的构成单元(a1)，且前述感光性树脂组合物不具有乙烯性交联结构，所述感光性转印材料为正型，且耐热矩形性优异、耐蚀刻剂性优异、抗蚀剂剥离性优异、加工时的扬尘少。

主权项

1.一种感光性转印材料，所述感光性转印材料包括支撑体与感光性树脂组合物层，所述感光性树脂组合物层含有(A)包含聚合物的聚合物成分及(B)光酸产生剂，所述聚合物含有具有酸基由酸分解性基保护的基团的构成单元(a1)，所述(A)包含聚合物的聚合物成分，其中所述聚合物含有具有酸基由酸分解性基保护的基团的构成单元(a1)，为包含含有下述通式(A1)或通式(A1’)所表示的构成单元的聚合物的聚合物成分，所述感光性树脂组合物不具有乙烯性交联结构，通式(A1)通式(A1)中，R¹及R²分别独立地表示氢原子、烷基或芳基，至少R¹及R²的任一个为烷基或芳基，R³表示烷基或芳基，R¹或R²与R³可连接而形成环状醚，R⁴表示氢原子或甲基；通式(A1’)通式(A1’)中，R¹¹及R¹²分别独立地表示氢原子、烷基或芳基，至少R¹¹及R¹²的任一个为烷基或芳基，R¹³表示烷基或芳基，R¹¹或R¹²与R¹³可连接而形成环状醚，R¹⁴分别独立地表示氢原子、羟基、卤素原子、烷基、烷氧基、烯基、芳基、芳烷基、烷氧基羰基、羟基烷基、芳基羰基或环烷基。