[发明专利]感光性转印材料、图案形成方法及蚀刻方法有效
申请号: | 201480069251.3 | 申请日: | 2014-12-01 |
公开(公告)号: | CN105849637B | 公开(公告)日: | 2019-10-15 |
发明(设计)人: | 佐藤守正 | 申请(专利权)人: | 富士胶片株式会社 |
主分类号: | G03F7/004 | 分类号: | G03F7/004;G03F7/039 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人: | 葛凡 |
地址: | 日本国*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 感光性 材料 图案 形成 方法 蚀刻 | ||
【权利要求书】:
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