[发明专利]倒角加工装置及无切口晶圆的制造方法

摘要

本发明是一种倒角加工装置(1)，其由倒角加工部(4)、清洗部(5)、及倒角形状测定部(7)构成，该倒角加工部(4)去除晶圆(W)的切口，该清洗部(5)进行晶圆的清洗和干燥，该倒角形状测定部(7)进行倒角形状的测定；其中，在倒角加工部、清洗部及倒角形状测定部，分别具备保持晶圆的旋转台和控制旋转台与晶圆的旋转位置的控制装置；旋转台具有旋转开始时的旋转位置的基准位置，并保持相对于该基准位置的旋转开始时的旋转位置在所有的旋转台上都是相同的旋转位置，控制装置控制晶圆的旋转开始时的旋转位置与旋转结束时的旋转位置，使其总是位于特定的位置。由此，即使是对于无切口晶圆也能适当地进行反馈控制，并能抑制倒角形状尺寸的偏差，能实现所希望的晶圆倒角部的剖面形状精度。

主权项

1.一种倒角加工装置，其特征在于，由倒角加工部、清洗部及倒角形状测定部构成，该倒角加工部利用磨石来磨削晶圆的外周而去除切口，该清洗部进行倒角加工后的晶圆的清洗和干燥，该倒角形状测定部进行清洗和干燥后的晶圆的倒角形状的测定；其中，在所述倒角加工部、所述清洗部及所述倒角形状测定部，分别具备旋转台和控制装置，该旋转台旋转自如地保持所述晶圆，该控制装置控制所述旋转台与该旋转台所保持的所述晶圆的旋转位置；所述旋转台具有基准位置，并保持相对于该基准位置的所述晶圆的旋转开始时的旋转位置在所有的旋转台上都是相同的旋转位置，该基准位置为旋转开始时的旋转位置的基准，所述控制装置进行控制，以使所述晶圆的旋转开始时的旋转位置与旋转结束时的旋转位置总是位于特定的位置。