[发明专利]具有事件检测能力的自动测试系统有效
申请号: | 201480060950.1 | 申请日: | 2014-10-23 |
公开(公告)号: | CN105849573B | 公开(公告)日: | 2018-12-14 |
发明(设计)人: | 罗纳德·A·萨特斯奇夫;爱德华·J·森格;马克·鲁本·哈特纳 | 申请(专利权)人: | 泰拉丁公司 |
主分类号: | H01L21/66 | 分类号: | H01L21/66 |
代理公司: | 中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 | 代理人: | 戚传江;金洁 |
地址: | 美国马*** | 国省代码: | 美国;US |
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摘要: | 本发明公开了一种测试技术,所述测试技术可在用于测试半导体器件的自动测试系统中实现。所述测试技术可实现波形内的信号跃变诸如边缘以及该事件的时序的快速检测。可被快速而灵活地编程的数字仪器内的电路可至少部分地实现所述测试技术。该电路可用测试参数简单地编程,使得所述技术的应用可导致更快的测试开发和更快的时间。在操作中,该电路接收指定波形上的窗口的参数的参数,在该窗口中将采集所述波形的样本以检测所述信号跃变。所述电路可将这些参数转换为用于所述测试系统中的其他部件的控制信号(诸如边缘生成器或引脚电子)以在所需时刻采集编程数量的样本。 | ||
搜索关键词: | 具有 事件 检测 能力 自动 测试 系统 | ||
【主权项】:
1.一种适于在重复波形的一个重复的可编程窗口中采集多个样本的自动测试系统,所述自动测试系统包括:引脚电子电路,所述引脚电子电路对第一时序输入处时序信号中的事件作出响应,采集所述引脚电子电路的信号输入处的值的样本;以及时序电路,所述时序电路具有连接到所述引脚电子电路的所述第一时序输入的输出,所述时序电路包括:第二时序输入;可编程元件;运算电路,所述运算电路至少部分地基于存储在所述可编程元件中的值来计算偏移;输出电路,所述输出电路连接到所述输出,并且在基于在所述第二时序输入处信号中的事件以及计算的所述偏移来确定的时刻产生具有事件的信号,其中存储在所述可编程元件中的所述值限定在所述可编程窗口内的采集样本的增量处之间的时间,在所述可编程窗口内的采集样本的增量处的数量,和/或每个增量处采集的样本的数量。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造