[发明专利]用于处理激光透明的衬底以便随后分离所述衬底的方法有效
| 申请号： | 201480058301.8 | 申请日： | 2014-11-19 |
| 公开（公告）号： | CN105682848B | 公开（公告）日： | 2019-04-23 |
| 发明（设计）人： | J·克莱纳;D·格罗斯曼 | 申请（专利权）人： | 通快激光与系统工程有限公司 |
| 主分类号： | B23K26/32 | 分类号： | B23K26/32;B28D5/00;C03B33/02;C03B33/08;C03C23/00;B23K26/00;C03B33/09 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 郭毅 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 提出一种用于处理激光透明的衬底(1)的方法，其用于随后沿分离区域(2)分离所述衬底(1)，所述方法具有以下方法步骤：a)在衬底位置(3)处在激光射线(4)的如此调节的射线参数(zr，w0，l0，λ)下照射衬底内部，使得在所述激光射线(4)中形成在射线方向(11)上棒形的或梨形缩细的体积区域(5)，在所述体积区域中超出用于产生改性的阈积分通量(φS)，以便在所述衬底内部在所述衬底位置(3)处产生改性区域(8)；b)在至少一个另外的衬底位置(3′)处实施步骤a.以便形成包括所述改性区域(8)的分离区域(2)。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 处理 激光 透明 衬底 以便 随后 分离 方法 | ||
【主权项】：
1.一种用于处理激光透明的衬底(1)以便随后沿分离区域(2)分离所述衬底(1)的方法，所述方法具有以下方法步骤：a)在衬底位置(3)处以具有在10fs至50ps范围内的脉冲持续时间的、具有在焦点处1010W/cm2至1017W/cm2的辐射强度的并且具有被调节的射线参数的脉冲激光射线(4)照射衬底内部，使得在所述衬底(1)中仅仅形成在射线方向(11)上波瓣形或梨形缩细的体积区域(5)，所述体积区域具有超出用于产生改性的阈积分通量(φS)的积分通量，其中，所述波瓣形或梨形缩细的体积区域(5)在其朝向激光入射侧的衬底表面(7)的入射区域具有比在射线方向(11)上随后的下面的部分区域中更大的横向延伸，以便在所述衬底内部在所述衬底位置(3)处产生改性区域(8)；b)在至少一个另外的衬底位置(3′)处实施步骤a.以便形成包括所述改性区域(8)的分离区域(2)。
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