[发明专利]压力传感器以及压力检测装置有效
| 申请号： | 201480055429.9 | 申请日： | 2014-09-29 |
| 公开（公告）号： | CN105637335B | 公开（公告）日： | 2018-01-19 |
| 发明（设计）人： | 藤田博之;桥口原;三屋裕幸;芦泽久幸 | 申请（专利权）人： | 国立大学法人东京大学;株式会社鹭宫制作所 |
| 主分类号： | G01L9/00 | 分类号： | G01L9/00 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司11243 | 代理人： | 张敬强,严星铁 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 压力传感器具备固定部、被多个支承梁支承于固定部的环状振子、设置于固定部并沿环状振子的振动方向隔着间隙地配置的多个电极、以及形成于环状振子以及电极的相互对置的面的任一方的驻极体薄膜。 | ||
| 搜索关键词： | 压力传感器 以及 压力 检测 装置 | ||
【主权项】：
一种压力传感器，其特征在于，具备：固定部；环状振子，其被多个支承梁支承于上述固定部；多个电极，它们设置于上述固定部并在上述环状振子的振动方向上与该环状振子隔开间隙地配置；以及驻极体薄膜，其形成于上述环状振子以及上述电极的相互对置的面的任一方，上述支承梁对上述环状振子在至少两次的振动模式之间反复变形时的成为振动的节点的部分进行支承。
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