[发明专利]用于提高检测灵敏度的多点照明

摘要

本发明呈现用于最小化从非均匀照明源产生的多个照明光束之间的干涉以在检验系统的视域上提供有效均匀照明分布的方法及系统。在一些实例中，将脉冲光束分割成多个照明光束，使得所述光束中的每一者在待检验的样本的表面处在时间上分离。在一些实例中，将从非均匀照明源产生的多个照明光束投射到所述样本的所述表面上的空间分离的区域上。将由每一区域照明的所关注的点目标成像到时间延迟积分TDI检测器的表面上。对所述图像求积分使得所述照明区域沿着所关注的所述点目标的运动方向的相对位置不影响在所述视域上的照明效率分布。

主权项

1.一种光学检验系统，其包括：脉冲激光照明源，其经配置以产生照明光束；光学子系统，其接收所述照明光束且将所述照明光束分割成两个或两个以上的次级照明光束，其中所述光学子系统在所述两个或两个以上次级照明光束待检验的样本的表面时在所述两个或两个以上的次级照明光束之间引入时间延迟；及检测器，其可操作以接收从由所述两个或两个以上的次级照明光束中的第一者照明的所述样本的所述表面收集的第一量的光，接收从由所述两个或两个以上的次级照明光束中的第二者照明的所述样本的所述表面收集的第二量的光，并基于一段时间的所述第一量的光及所述第二量的光的积分产生输出值，所述时间超过所述照明光束的脉冲持续时间及时间延迟之和。