[发明专利]用于提高检测灵敏度的多点照明

权利要求书

1.一种光学检验系统，其包括：

脉冲激光照明源，其经配置以产生照明光束；

光学子系统，其接收所述照明光束且将所述照明光束分割成两个或两个以上的次级照明光束，其中所述光学子系统在所述两个或两个以上次级照明光束待检验的样本的表面时在所述两个或两个以上的次级照明光束之间引入时间延迟；及

检测器，其可操作以接收从由所述两个或两个以上的次级照明光束中的第一者照明的所述样本的所述表面收集的第一量的光，接收从由所述两个或两个以上的次级照明光束中的第二者照明的所述样本的所述表面收集的第二量的光，并基于一段时间的所述第一量的光及所述第二量的光的积分产生输出值，所述时间超过所述照明光束的脉冲持续时间及时间延迟之和。

2.根据权利要求1所述的光学检验系统，其中所述时间延迟超过由所述脉冲激光照明源产生的所述照明光束的脉冲持续时间。

3.根据权利要求2所述的光学检验系统，其中所述时间延迟小于由所述脉冲激光照明源产生的所述照明光束的连续脉冲之间的周期。

4.根据权利要求1所述的光学检验系统，其中所述光学子系统包含经配置以将所述照明光束空间分割成两个半光束的两个平行镜，其中一个半光束相对于另一者空间移位且在时间上延迟。

5.根据权利要求1所述的光学检验系统，其中所述光学子系统包含经配置以从所述照明光束产生两个或两个以上的次级照明光束的至少一个分束器及一镜，其中所述次级照明光束中的每一者相对于所述次级照明光束中的任何其它者在时间上延迟。

6.根据权利要求1所述的光学检验系统，其中所述光学子系统包含经配置以将所述照明光束空间分割成大约相等强度的四个半光束的平行光束板，其中所述四个半光束中的每一者相对于其它者中的至少一者在时间上延迟。

7.根据权利要求6所述的光学检验系统，其中所述平行光束板进一步经配置以从所述平行光束板的第一表面发射所述四个半光束中的第一及第二者且从所述平行光束板的第二表面发射所述四个半光束中的第三及第四者。

8.根据权利要求1所述的光学检验系统，其中所述检测器是时间延迟积分TDI检测器。

9.一种光学检验系统，其包括：

照明源，其经配置以产生脉冲照明光束；

光学子系统，其接收所述脉冲照明光束且将所述脉冲照明光束分割成两个或两个以上的次级照明光束，其中所述光学子系统在所述两个或两个以上的次级照明光束待检验的样本的表面时在所述两个或两个以上的次级照明光束之间引入空间分离；

及

时间延迟积分TDI检测器，其可操作以接收从由所述两个或两个以上的次级照明光束中的第一者照明的所述样本的所述表面收集的第一量的光，接收从由所述两个或两个以上的次级照明光束中的第二者照明的所述样本的所述表面收集的第二量的光，并基于所述第一量的经收集光及所述第二量的经收集光的时间延迟积分产生输出值，其中与所述时间延迟积分相关联的积分时间是连续脉冲之间的时间的至少五倍长。

10.根据权利要求9所述的光学检验系统，其中所述光学子系统包含经配置以将所述照明光束空间分割成两个半光束的两个平行镜，其中一个半光束相对于另一者空间移位。

11.根据权利要求9所述的光学检验系统，其中所述光学子系统包含经配置以从所述照明光束产生两个或两个以上的次级照明光束的至少一个分束器及一镜，其中所述次级照明光束中的每一者相对于所述次级照明光束中的任何其它者空间位移。

12.根据权利要求9所述的光学检验系统，其中所述光学子系统包含经配置以将所述照明光束空间分割成大约相等强度的四个半光束的平行光束板，其中所述四个半光束中的每一者相对于其它光束中的至少一者空间移位。