[发明专利]判断检查基板时的补偿矩阵的有效性的方法有效
| 申请号： | 201480050252.3 | 申请日： | 2014-09-11 |
| 公开（公告）号： | CN105557081B | 公开（公告）日： | 2018-10-09 |
| 发明（设计）人： | 郑升源;崔钟镇;柳希昱 | 申请（专利权）人： | 株式会社高永科技 |
| 主分类号： | G01N21/956 | 分类号： | G01N21/956 |
| 代理公司： | 北京青松知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 11384 | 代理人： | 郑青松 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 本发明涉及一种判断检查基板时的补偿矩阵的有效性的方法。上述方法包括：在基板上的测量区域内求得最外围的多个衬垫的坐标的步骤；在上述基板上的测量区域内求得最外围的多个特征客体的坐标的步骤；针对连接上述最外围的多个衬垫的坐标的第一多边形的第一面积，计算出连接上述第一多边形和上述最外围的多个特征客体的坐标的第二多边形的重叠的第二面积的比率的步骤；以及对上述比率和预先设定的基准值进行比较，来判断补偿矩阵的有效性的步骤。通过上述方法来判断补偿矩阵的有效性，从而能够提高检查基板时的检查结果的可靠性。 | ||
| 搜索关键词： | 判断 检查 基板时 补偿 矩阵 有效性 方法 | ||
【主权项】：
1.一种判断检查基板时的补偿矩阵的有效性的方法，其中，包括：在基板上的测量区域内求得最外围的多个衬垫的坐标的步骤；在上述基板上的测量区域内求得最外围的多个特征客体的坐标的步骤；针对连接上述最外围的多个衬垫的坐标的第一多边形的第一面积，计算出上述第一多边形和连接上述最外围的多个特征客体的坐标的第二多边形的重叠的第二面积的比率的步骤；以及对上述比率和预先设定的基准值进行比较，来判断补偿矩阵的有效性的步骤。
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