[发明专利]判断检查基板时的补偿矩阵的有效性的方法

说明书

本发明涉及一种判断检查基板时的补偿矩阵的有效性的方法。上述方法包括：在基板上的测量区域内求得最外围的多个衬垫的坐标的步骤；在上述基板上的测量区域内求得最外围的多个特征客体的坐标的步骤；针对连接上述最外围的多个衬垫的坐标的第一多边形的第一面积，计算出连接上述第一多边形和上述最外围的多个特征客体的坐标的第二多边形的重叠的第二面积的比率的步骤；以及对上述比率和预先设定的基准值进行比较，来判断补偿矩阵的有效性的步骤。通过上述方法来判断补偿矩阵的有效性，从而能够提高检查基板时的检查结果的可靠性。

技术领域

本发明涉及判断检查基板时的补偿矩阵的有效性的方法，更详细地，涉及用于利用第一多边形和第二多边形的面积来补偿衬垫的位置的判断补偿矩阵的有效性的方法，上述第一多边形由测量区域(FOV)上的最外围的多个衬垫的坐标形成，上述第二多边形由上述测量区域上的最外围的多个特征客体的坐标形成。

背景技术

一般情况下，在电子装置的内部设置有至少一个印刷电路基板(printedcircuitboard；PCB)，而在这种印刷电路基板上安装有电路图案、连接衬垫部以及与上述连接衬垫部电连接的驱动芯片等多种电路元件。

一般情况下，为了确认如上所述的多种电路元件是否正常形成于上述印刷电路基板，使用形状测量装置。

现有的形状测量装置设定规定的测量区域，并检查规定的电路元件是否正常形成于上述测量区域内。

只有在需要进行测量的位置准确地设定测量区域，才可以正常执行对需要测量的电路元件的测量，然而印刷电路基板之类的测量对象物由于底部基板可以发生弯曲(warp)、扭曲(distortion)等歪曲，因而需要对此进行补偿。

为此，可以利用印刷电路基板(PCB)上的弯曲图案或孔图案等特征客体来生成补偿矩阵，并补偿衬垫的位置，而此时，补偿矩阵是否有效可以成为问题。

发明内容

解决的技术问题

为了解决上述的技术问题，本发明的目的在于，提供判断检查基板时的补偿矩阵的有效性的方法，上述判断检查基板时的补偿矩阵的有效性的方法可以为了补偿测量区域上的衬垫的位置而判断利用测量区域上的多个特征客体的坐标来生成的补偿矩阵的有效性。

本发明的目的并不局限于以上所提及的目的，本发明所属技术领域的普通技术人员能够从以下的记载中明确地理解未提及的其他多种目的。

技术方案

用于解决上述问题的本发明一实施方式的判断检查基板时的补偿矩阵的有效性的方法包括：在基板上的测量区域内求得最外围的多个衬垫的坐标的步骤；在上述基板上的测量区域内求得最外围的多个特征客体的坐标的步骤；针对连接上述最外围的多个衬垫的坐标的第一多边形的第一面积，计算出连接上述第一多边形和上述最外围的多个特征客体的坐标的第二多边形的重叠的第二面积的比率的步骤；以及基于上述比率是否为预先设定的基准值以上，为了补偿上述测量区域内的衬垫的坐标而判断利用上述测量区域内的多个特征客体的坐标值来生成的补偿矩阵的有效性的步骤。

上述最外围的多个衬垫的坐标可以为上述最外围的多个衬垫的中心坐标，上述最外围的多个特征客体的坐标可以为上述最外围的多个特征客体的中心坐标。

上述特征客体可以为上述基板上的孔图案、圆形图案或弯曲图案的角落部分中的至少一种。

可以由(上述第一多边形和上述第二多边形的重叠的面积)/上述第一面积×100决定上述比率。

上述预先设定的基准值可以为50。

上述判断检查基板时的补偿矩阵的有效性的方法还可以包括在上述比率为预先设定的基准值以上的情况下，判断补偿矩阵有效的步骤。

本发明还可以包括在上述比率小于预先设定的基准值的情况下，判定补偿矩阵并不有效的步骤。