[发明专利]对工具处理数据提供多变量分析的基于K最近邻法与系统

摘要

本发明提供一种服务器计算机系统，所述服务器计算机系统为运行配方的第一工具建立参考指纹。服务器计算机系统使用参考数据来建立参考指纹，所述参考数据与在参数之内执行的第一工具相关。参考指纹包括目标基线及基于目标基线的允许范围。服务器计算机系统基于样本数据与参考指纹的比较，确定与运行配方的第二工具相关联的样本数据是否在参数之内执行。第二工具可为第一工具或与所述第一工具相同类型的另一工具。服务器计算机系统基于样本数据与参考指纹的比较向系统或用户中的至少之一提供第二工具的分类。所述分类指示第二工具是否在参数之内执行。

主权项

1.一种用于分析工具处理数据的方法，包含以下步骤：使用参考数据及由所述参考数据确定的多个最近邻值为运行配方的第一工具建立参考指纹，所述参考数据与在与运行所述配方相关联的参数之内执行的所述第一工具相关，所述参考指纹包含目标基线及基于所述目标基线的多个允许范围；通过计算与运行所述配方的第二工具相关联的样本数据的一部分与所述参考指纹的所述目标基线的相应部分之间的距离，确定所述样本数据是否在所述参考指纹之内执行，所述第二工具是所述第一工具或与所述第一工具相同类型的另一工具，并且所述样本数据对应于来自运行所述配方的所述第二工具的多个传感器的数据；基于所计算的所述距离和基于所述目标基线的所述多个允许范围向系统或用户中的至少之一提供所述第二工具的分类，所述分类指示所述第二工具是否在所述参考指纹之内执行；响应于指示所述第二工具未在所述参考指纹之内执行的所述分类，从所述第二工具的所述多个传感器识别促成所计算的所述距离与所述多个允许范围的偏差的传感器和在所识别的传感器促成所述偏差时运行所述配方的所述第二工具的工艺步骤；以及使用所述分类和所述传感器的所述识别来为所述第二工具提供维护。