[发明专利]Fe‑Co系合金溅射靶材和软磁性薄膜层、以及使用它的垂直磁记录介质有效
| 申请号： | 201480044298.4 | 申请日： | 2014-08-12 |
| 公开（公告）号： | CN105473759B | 公开（公告）日： | 2018-04-03 |
| 发明（设计）人： | 长谷川浩之;泽田俊之;松原庆明 | 申请（专利权）人： | 山阳特殊制钢株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C22C19/07;C22C38/00;G11B5/667;G11B5/851;C22C1/04;C22C33/02 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司11021 | 代理人： | 蒋亭 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明的靶材是由从Nb、Ta、Mo和W中选择的至少一种M元素，以及作为Fe和Co中的一种或两种和不可避免的杂质的余量构成，并且，满足下式(1)(Fex‑Co100‑x)100‑Y MY…(1)[式中，原子比为0≤X≤100和4≤Y≤28。]的Fe‑Co系合金所构成的溅射靶材，溅射靶材的显微组织具有以Fe和Co为主体的相，和包含Fe和Co中的一种或两种与M元素的金属间化合物相，使Fe和Co中的一种或两种和M元素构成的金属间化合物相网状生长，包围、断开以Fe和Co为主体的相使之孤立，因金属间化合物相而孤立的以Fe和Co为主体的相的数量在所述溅射靶材中，在每10000μm2中存在300个以上。 | ||
| 搜索关键词： | fe co 合金 溅射 磁性 薄膜 以及 使用 垂直 记录 介质 | ||
【主权项】：
一种溅射靶材，是由Fe－Co系合金构成的溅射靶材，该合金由从Nb、Ta、Mo和W中选择的至少一种M元素，以及作为余量的Fe和Co中的一种或两种和不可避免的杂质构成，并且，满足下式(1)：(FeX－Co100‑X)100‑YMY…(1)式中，原子比为600/23≤X≤100和4≤Y≤28，其中，所述溅射靶材的显微组织具有以Fe和Co为主体的相、和包含Fe和Co中的一种或两种与M元素的金属间化合物相，使所述包含Fe和Co中的一种或两种与M元素的金属间化合物相网状地生长，包围、断开所述以Fe和Co为主体的相而使之孤立，因所述金属间化合物相而孤立的所述以Fe和Co为主体的相的数量在所述溅射靶材中，在每10000μm2中存在300个以上。
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