[发明专利]蒸镀装置、蒸镀方法和有机电致发光元件的制造方法

摘要

本发明提供能够高精度地形成薄膜的图案的蒸镀装置和蒸镀方法以及显示品质优异的有机电致发光显示装置的制造方法。本发明是一种使用扫描蒸镀法的蒸镀装置，其中，限制部件包括第一板部；与第一板部之间隔开间隔地设置的第二板部；和将第一板部与第二板部连接的连接部，在第一板部设置有开口，在第二板部设置有与第一板部的开口相对的开口，在第一板部的开口与第二板部的开口之间存在第一空间，在与基板的法线方向和基板的扫描方向正交的方向上的第一空间的旁边，在第一板部与第二板部之间存在第二空间，第一空间与第二空间连接，在基板的扫描方向上的第二空间的旁边，在限制部件之外存在第三空间，第二空间与第三空间连接。

主权项

一种蒸镀装置，其在基板上形成薄膜的图案，该蒸镀装置的特征在于：所述蒸镀装置包括：包含蒸镀源、限制部件和掩模的蒸镀单元；和移动机构，其在使所述基板与所述掩模分离的状态下，使所述基板和所述蒸镀单元中的一者，沿着与所述基板的法线方向正交的第一方向相对于所述基板和所述蒸镀单元中的另一者相对移动，所述蒸镀源、所述限制部件、所述掩模和所述基板依次配置，所述限制部件包括：第一板部；与所述第一板部之间隔开间隔地设置的第二板部；和将所述第一板部与所述第二板部连接的连接部，在所述第一板部设置有开口，在所述第二板部设置有与所述第一板部的所述开口相对的开口，在所述第一板部的所述开口与所述第二板部的所述开口之间存在第一空间，在与所述基板的所述法线方向和所述第一方向正交的第二方向上的所述第一空间的旁边，在所述第一板部与所述第二板部之间存在第二空间，所述第一空间与所述第二空间连接，在所述第一方向上的所述第二空间的旁边，在所述限制部件之外存在第三空间，所述第二空间与所述第三空间连接，所述限制部件的所述连接部包括分别设置有开口的第一壁部和第二壁部，所述第一壁部设置在所述第一空间与所述第二空间之间，所述第二壁部设置在所述第二空间与所述第三空间之间，所述第一空间通过所述第一壁部的所述开口与所述第二空间连接，所述第二空间通过所述第二壁部的所述开口与所述第三空间连接。