[发明专利]用于控制使用反馈的流量比控制器的方法和系統

摘要

本发明公开一种处理装置，该处理装置确定多个初始的流量设定点命令，多个设定点命令的每一设定点命令对应到多个阀门中的一个阀门。处理装置发送多个初始的设定点命令的每一初始的设定点命令至多个阀门中的相对应的阀门。处理装置接收来自多个阀门中的每一阀门的反馈，并基于来自多个阀门中的每一阀门的该相对应的反馈来确定多个更新的流量设定点命令，多个更新的流量设定点命令的每一更新的流量设定点命令对应到多个阀门中的一个阀门。

主权项

1.一种用于控制使用反馈的流量比控制器的方法，包含以下步骤：确定多个流量设定点命令，所述多个流量设定点命令的每一流量设定点命令对应到多个阀门中的一个阀门，其中质量流量控制器(MFC)装置的阵列包括所述多个阀门；发送所述多个流量设定点命令的每一流量设定点命令至所述多个阀门中的一个相对应的阀门，其中所述多个流量设定点命令的每一流量设定点命令造成所述多个阀门中的一个相对应的阀门的瞬时输出流量达到设定点比；确定针对于所述多个阀门中的每一阀门的目标设定点，所述目标设定点在所述瞬时输出流量期间最小化在各自阀门中的压力降；接收来自所述多个阀门中的每一阀门的反馈；确定所述目标设定点不基于所述反馈达到；确定针对在所述MFC装置的阵列中的所述多个阀门的总误差，所述总误差是在所述多个阀门中的各自数值的个别误差的总和；基于所述多个阀门的目前的总输出流量和针对所述多个阀门的所述总误差确定在所述MFC装置的阵列中的所述多个阀门的所期望的总输出流量；和通过根据所述设定点比分配对称地横越所述多个阀门的所述目前的总输出流量来改变所述目前的总输出流量以满足所期望的总输出流量，以提供对称的瞬时输出流量并在所述对称的瞬时输出流量期间最小化在所述多个阀门中的各自阀门中的压力降。