[发明专利]多晶硅的晶体性评价方法

摘要

将选取的板状试样(20)配置于来自第一密勒指数面<h¹k¹l¹>的布拉格反射能被检测出的位置，以板状试样(20)的中心作为旋转中心使其以旋转角度φ进行面内旋转以使由狭缝决定的X射线照射区域在板状试样(20)的主面上进行φ扫描，求出表示来自密勒指数面<hkl>的布拉格反射强度对于板状试样(20)的旋转角度(φ)的依赖性的图，由该图求出基线的衍射强度值(I_B)，同样地，由从第二密勒指数面<h²k²l²>得到的φ扫描图求出基线的衍射强度值(I_B²)，使用上述I_B¹值与上述I_B²值的大小关系作为多晶硅的晶体性的评价指标。

主权项

一种多晶硅的晶体性评价方法，其利用X射线衍射法对多晶硅的晶体性进行评价，其特征在于，将所述多晶硅制成板状试样，将该板状试样配置于来自第一密勒指数面<h¹k¹l¹>的布拉格反射能被检测出的位置，以该板状试样的中心作为旋转中心使其以旋转角度φ进行面内旋转以使由狭缝决定的X射线照射区域在所述板状试样的主面上进行φ扫描，求出表示来自所述密勒指数面的布拉格反射强度对于所述板状试样的旋转角度(φ)的依赖性的图，由该图求出基线的衍射强度值(I_B¹)，进而，通过所述方法，由从第二密勒指数面<h²k²l²>得到的φ扫描图求出基线的衍射强度值(I_B²)，将所述I_B¹值与所述I_B²值的大小关系用作所述多晶硅的晶体性的评价指标。