[发明专利]带电粒子束装置在审
| 申请号： | 201480034491.X | 申请日： | 2014-06-25 |
| 公开（公告）号： | CN105308712A | 公开（公告）日： | 2016-02-03 |
| 发明（设计）人： | 野间口恒典;扬村寿英;祖利胡默·亚森吉安 | 申请（专利权）人： | 株式会社日立高新技术 |
| 主分类号： | H01J37/244 | 分类号： | H01J37/244;H01J37/145 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人： | 张敬强;严星铁 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 在带电粒子束装置中，在尽可能地接近物镜内部的样品的位置高效地取得从样品释放的带电粒子。具备：带电粒子受光面(105)，其具有通过带电粒子而发光的闪烁器；光电探测器(107)，其对从闪烁器释放的光进行检测；反射镜(108)，其将从闪烁器释放的光引导至光电探测器(107)；以及物镜(100)，其用于将带电粒子束集束于样品，带电粒子受光面(105)与反射镜(108)的距离Lsm比光电探测器(107)与反射镜(108)的距离Lpm长，带电粒子受光面(105)、反射镜(108)以及光电探测器(107)被收纳在物镜(100)内部。 | ||
| 搜索关键词： | 带电 粒子束 装置 | ||
【主权项】：
一种带电粒子束装置，其特征在于，具备：带电粒子受光面，其具有通过带电粒子而发光的闪烁器；光电探测器，其对从闪烁器释放的光进行检测；反射镜，其将从闪烁器释放的光引导至上述光电探测器；以及物镜，其用于将带电粒子束集束于样品，上述带电粒子受光面与上述反射镜的距离Lsm比上述光电探测器与上述反射镜的距离Lpm长，上述带电粒子受光面、上述反射镜以及上述光电探测器被收纳在上述物镜内部。
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