[发明专利]带电粒子束装置

权利要求书

1.一种带电粒子束装置，其特征在于，

具备：带电粒子受光面，其具有通过带电粒子而发光的闪烁器；光电探测器，其对从闪烁器释放的光进行检测；反射镜，其将从闪烁器释放的光引导至上述光电探测器；以及物镜，其用于将带电粒子束集束于样品，

上述带电粒子受光面与上述反射镜的距离Lsm比上述光电探测器与上述反射镜的距离Lpm长，

上述带电粒子受光面、上述反射镜以及上述光电探测器被收纳在上述物镜内部。

2.一种带电粒子束装置，其特征在于，

具备：带电粒子受光面，其具有通过带电粒子而发光的闪烁器；光电探测器，其对从闪烁器释放的光进行检测；反射镜，其将从闪烁器释放的光引导至上述光电探测器；以及物镜，其用于将带电粒子束集束于样品，

在将上述带电粒子检测器投影于与上述光电探测器的受光面平行的面的投影图中，在上述带电粒子受光面与上述光电探测器之间存在间隙，

上述带电粒子受光面、上述反射镜以及上述光电探测器被收纳在上述物镜内部。

3.根据权利要求1或2所述的带电粒子束装置，其特征在于，

具备对上述光电探测器的输出进行放大的信号放大用基板，该信号放大用基板被收纳在上述物镜内部。

4.根据权利要求1或2所述的带电粒子束装置，其特征在于，

上述物镜具备线圈，该线圈产生使带电粒子束集束的磁场，

相对于该物镜的光轴，上述带电粒子受光面设置于上述线圈的上表面和下表面之间。

5.根据权利要求4所述的带电粒子束装置，其特征在于，

上述物镜具备：产生集束磁场的线圈及磁极片；以及产生集束静电场的两个以上的电极，

上述电极中的一个与上述带电粒子检测器的带电粒子受光面经由弹簧电接触。

6.根据权利要求1或2所述的带电粒子束装置，其特征在于，

上述物镜具备线圈，该线圈产生使带电粒子束集束的磁场，

相对于该物镜的光轴，上述带电粒子受光面设置于比上述线圈更接近样品的位置。

7.根据权利要求6所述的带电粒子束装置，其特征在于，

上述物镜具备：产生集束磁场的线圈及磁极片；以及产生集束静电场的两个以上的电极，

上述电极中的一个与上述带电粒子检测器的带电粒子受光面经由弹簧电接触。

8.根据权利要求1或2所述的带电粒子束装置，其特征在于，

在上述带电粒子受光面的中心开有贯通孔。

9.根据权利要求8所述的带电粒子束装置，其特征在于，

具备穿过上述带电粒子受光面的贯通孔并延伸的束射管和筛孔，

上述束射管的内表面与上述带电粒子受光面之间电绝缘，在上述束射管的前端附近存在上述筛孔，该筛孔与上述束射管电接触。

10.根据权利要求1或2所述的带电粒子束装置，其特征在于，

在上述带电粒子受光面与上述反射镜之间具备光纤板。

11.根据权利要求10所述的带电粒子束装置，其特征在于，

在上述光纤板的中心开有贯通孔。

12.根据权利要求11所述的带电粒子束装置，其特征在于，

在上述光纤板的表面施加导电性薄膜。

13.根据权利要求1或2所述的带电粒子束装置，其特征在于，

在上述带电粒子受光面与上述反射镜之间具备光学透镜。

14.根据权利要求13所述的带电粒子束装置，其特征在于，

在上述光学透镜的中心开有贯通孔。

15.根据权利要求14所述的带电粒子束装置，其特征在于，

在上述光学透镜的表面施加导电性薄膜。

16.根据权利要求13所述的带电粒子束装置，其特征在于，

以上述带电粒子受光面的最初的像面位于比上述光电探测器的受光面更靠后方的方式配置有上述光学透镜以及上述反射镜。

17.根据权利要求1或2所述的带电粒子束装置，其特征在于，

上述反射镜采用凹面镜。