[发明专利]用于线内合格率监测的关键参数电测试参数的自动确定的系统及方法

摘要

线内合格率监测可包含使用一或多个算法软件模块。线内合格率监测可包含使用例如学习模块及预测模块的两个相关算法软件模块。所述学习模块可从探针电测试合格率及参数电测试PET属性值的数据学习关键PET参数。所述关键PET参数可最佳地分离所述合格率数据中的离群值及内群值。所述预测模块可使用由所述学习模块发现的所述关键PET参数以预测晶片是探针测试分类中的内群值还是离群值。

主权项

一种计算机实施方法，其包括：在计算机处理器处从用于对使用半导体过程生产的一组半导体晶片执行的探针电测试的合格率值的数据库接收合格率值数据的输入；在所述计算机处理器处从用于对所述一组半导体晶片执行的参数电测试的参数电测试属性值的数据库接收参数电测试属性值数据的输入；使用所述计算机处理器将所述所接收的合格率值数据分类为内群值类别及离群值类别；使用所述计算机处理器基于所述所接收的合格率值数据的所述内群值类别及所述离群值类别以及所述所接收的参数电测试属性值数据评估一或多个关键参数电测试属性；使用所述计算机处理器评估对应于所述关键参数电测试属性中的一或多者的一或多个统计过程控制阈值，其中所述统计过程控制阈值是用于所述半导体过程的过程控制阈值；及使用所述计算机处理器产生关键参数电测试参数的数据库，其中所述关键参数电测试参数包括关键参数电测试属性及其对应统计过程控制阈值，其中将所述所接收的合格率值数据分类为所述内群值类别及所述离群值类别包括：将所述所接收的合格率值数据排序为分布；评估所述分布的四分位数范围；评估所述分布的内四分位数范围；评估所述内四分位数范围的均值及标准差；及将所述离群值类别指派为低于(第一四分位数‑选定值×所述内四分位数范围)或高于(第三四分位数+所述选定值×所述内四分位数范围)。