[发明专利]可溶性金属氧化物羧酸盐的旋涂组合物及其使用方法

摘要

本公开涉及含有至少一种金属氧化物二羧酸盐和该金属氧化物二羧酸盐可溶于其中或在其中胶体稳定的有机溶剂的旋涂组合物。该二羧酸盐能够在热处理过程中分解以提供固化的金属氧化物膜。本公开还涉及使用该旋涂组合物的方法。

主权项

1.旋涂组合物，其包含至少一种金属氧化物二羧酸盐和有机溶剂，其中所述金属氧化物二羧酸盐可溶于所述溶剂或在所述溶剂中胶体稳定，并且其中所述金属氧化物二羧酸盐能够在200℃至300℃达30至200秒的热处理过程中分解以提供经固化的金属氧化物膜，进一步地其中该溶剂选自乙二醇单烷基醚、二乙二醇二烷基醚、丙二醇单烷基醚、丙二醇二烷基醚、乙酸酯、乳酸酯、非环状酮、丙酮酸酯、丙酸酯或这些溶剂的混合物，进一步地其中所述二羧酸盐的羧酸根是丙酸根，和进一步地其中该组合物进一步包含至少一种聚合物，所述聚合物选自有机聚合物、无机聚合物及其混合物。