[发明专利]磁场传感器装置有效

专利信息
申请号: 201480025351.6 申请日: 2014-04-23
公开(公告)号: CN105190340B 公开(公告)日: 2018-05-29
发明(设计)人: 休伯特·格林;维克托·斯百特 申请(专利权)人: 森斯泰克有限公司
主分类号: G01V3/40 分类号: G01V3/40
代理公司: 北京冠和权律师事务所 11399 代理人: 朱健;陈国军
地址: 德国*** 国省代码: 德国;DE
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摘要: 发明涉及一种用于测量至少一种磁场矢量分量He的磁场传感器装置(10),包括至少一个布置在芯片基板(12)上的各向异性磁阻电阻设备(AMR电阻设备)(14),其中所述电阻设备(14)包括多个经导电条(18)串连连接的磁阻AMR电阻元件(16)。至少一个具有磁化轴(22)的永磁磁化元件(20)被分配到各电阻元件(16)使得所述磁化元件(20)的初始磁场H0沿所述磁化轴(22)的方向通过所述电阻元件(16)。从第一导电条(18a)和所述电阻元件(16)之间的接触区域(24)到所述电阻元件(16)和第二导电条(18b)之间的接触区域(26)流经所述电阻元件(16)的测量电流Is具有相对于所述磁化轴(22)成0°<α<90°预设线性角(30)的平均电流方向轴(28)。本发明公开一种能够经济地大量生产的高灵敏度的磁场传感器装置(10)。
搜索关键词: 电阻元件 磁场传感器装置 电阻设备 磁化轴 导电条 接触区域 磁场矢量分量 各向异性磁阻 测量电流 串连连接 磁化元件 高灵敏度 平均电流 芯片基板 永磁磁化 方向轴 磁阻 预设 磁场 测量 分配
【主权项】:
1.一种用于测量至少一种磁场矢量分量He的磁场传感器装置(10),包括至少一个布置在芯片基板(12)上的AMR电阻设备(14),其中,所述AMR电阻设备(14)包括十个以上经导电条(18)彼此串连连接的AMR电阻元件(16),其特征在于:至少一个具有磁化轴(22)的永磁元件(20)分配到各AMR电阻元件(16)使得所述永磁元件(20)的初始磁场H0沿所述磁化轴(22)的方向通过所述AMR电阻元件(16),其中,磁化轴(22)与磁场矢量分量He成直角,自第一导电条(18a)和所述AMR电阻元件(16)之间的接触区域(24)至所述AMR电阻元件(16)和第二导电条(18b)之间的接触区域(26)流经所述AMR电阻元件(16)的测量电流Is具有相对于所述磁化轴(22)成0°&lt;α&lt;90°预设线性角(30)的平均电流方向轴(28)。
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