[发明专利]图像取得装置、取得试样的对准焦点信息的方法以及系统有效
| 申请号： | 201480023712.3 | 申请日： | 2014-04-21 |
| 公开（公告）号： | CN105143954B | 公开（公告）日： | 2018-06-19 |
| 发明（设计）人： | 岩瀬富美雄;奥河正利 | 申请（专利权）人： | 浜松光子学株式会社 |
| 主分类号： | G02B21/36 | 分类号： | G02B21/36;G02B7/28;G02B7/36;G02B21/26 |
| 代理公司： | 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 | 代理人： | 杨琦 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 在图像取得装置(1)中，作为摄像元件(6)，使用具有多列像素列(31)并且能够滚动读出的二维摄像元件。然后，利用滚动读出中的各个像素列(31)中的读出时机的延迟，使物镜(25)的焦点位置变更并以试样(S)上的规定部位(Sa)的光学图像在摄像元件(6)的各个像素列(31)上被曝光的方式使在物镜(25)的视野(V)内的试样(S)的规定部位(Sa)的移动与滚动读出相同步。由此，在来自各个像素列(31)的图像数据中，包含物镜(25)的焦点位置在试样(S)的同一部位被变更的时候的对比度信息，所以基于该信息能够迅速而且高精度地计算出对准焦点信息。 1 | ||
| 搜索关键词： | 像素列 读出 物镜 图像取得装置 焦点信息 摄像元件 滚动 对准 二维摄像元件 焦点位置变更 对比度信息 光学图像 焦点位置 同一部位 图像数据 多列 延迟 变更 曝光 视野 时机 移动 | ||
【主权项】：
1.一种图像取得装置，其特征在于：具备：工作台，载置试样；光源，朝着所述试样照射光；导光光学系统，包含以与所述工作台上的所述试样相对峙的方式配置的物镜；摄像元件，对由所述导光光学系统导光后的所述试样的光学图像进行摄像；对准焦点计算部，基于来自所述摄像元件的图像数据，计算所述试样的对准焦点信息；第1驱动部，使相对于所述试样的所述物镜的视野位置移动；第2驱动部，变更相对于所述试样的所述物镜的焦点位置；以及控制部，控制所述摄像元件、所述第1驱动部以及所述第2驱动部，所述摄像元件是具有多列像素列并且能够滚动读出的二维摄像元件，所述控制部以一边由所述第2驱动部来使相对于所述试样的所述物镜的所述焦点位置变更一边使所述试样上的同一部位的光学图像在所述摄像元件的各个像素列上被曝光的方式，使由所述第1驱动部得到的在所述物镜的视野内的所述试样的同一部位的移动与所述摄像元件的滚动读出相同步。
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