[发明专利]图像取得装置、取得试样的对准焦点信息的方法以及系统

权利要求书

1.一种图像取得装置，其特征在于：

具备：

工作台，载置试样；

光源，朝着所述试样照射光；

导光光学系统，包含以与所述工作台上的所述试样相对峙的方式配置的物镜；

摄像元件，对由所述导光光学系统导光后的所述试样的光学图像进行摄像；

对准焦点计算部，基于来自所述摄像元件的图像数据，计算所述试样的对准焦点信息；

第1驱动部，使相对于所述试样的所述物镜的视野位置移动；

第2驱动部，变更相对于所述试样的所述物镜的焦点位置；以及

控制部，控制所述摄像元件、所述第1驱动部以及所述第2驱动部，

所述摄像元件是具有多列像素列并且能够滚动读出的二维摄像元件，

所述控制部以一边由所述第2驱动部来使相对于所述试样的所述物镜的所述焦点位置变更一边使所述试样上的同一部位的光学图像在所述摄像元件的各个像素列上被曝光的方式，使由所述第1驱动部得到的在所述物镜的视野内的所述试样的同一部位的移动与所述摄像元件的滚动读出相同步。

2.如权利要求1所述的图像取得装置，其特征在于：

所述控制部以在所述物镜的视野内的所述试样的同一部位的移动成为恒定速度的方式控制所述第1驱动部。

3.如权利要求1所述的图像取得装置，其特征在于：

所述控制部在自相对于所述试样的所述物镜的所述视野位置的移动被开始起经过规定时间之后开始所述摄像元件的各个像素列的曝光，相对于所述试样的所述物镜的所述视野位置的移动由所述第1驱动部而被开始。

4.如权利要求2所述的图像取得装置，其特征在于：

所述控制部在自相对于所述试样的所述物镜的所述视野位置的移动被开始起经过规定时间之后开始所述摄像元件的各个像素列的曝光，相对于所述试样的所述物镜的所述视野位置的移动由所述第1驱动部而被开始。

5.如权利要求1～4中的任意一项所述的图像取得装置，其特征在于：

设定由所述摄像元件进行摄像的多个分割区域，

所述试样的所述同一部位以位于所述分割区域的端部以外的区域的方式被设定。

6.如权利要求5所述的图像取得装置，其特征在于：

所述对准焦点计算部在所述物镜的视野位置由所述第1驱动部而在所述分割区域之间移动的时候进行所述对准焦点信息的计算。

7.如权利要求5所述的图像取得装置，其特征在于：

所述控制部以相对于所述试样的所述物镜的所述视野位置的移动遍及至少3个分割区域的方式控制所述第1驱动部。

8.如权利要求6所述的图像取得装置，其特征在于：

所述控制部以相对于所述试样的所述物镜的所述视野位置的移动遍及至少3个分割区域的方式控制所述第1驱动部。

9.如权利要求1～4中的任意一项所述的图像取得装置，其特征在于：

所述摄像元件能够切换所述滚动读出的读出方向。

10.如权利要求5所述的图像取得装置，其特征在于：

所述摄像元件能够切换所述滚动读出的读出方向。

11.如权利要求6所述的图像取得装置，其特征在于：

所述摄像元件能够切换所述滚动读出的读出方向。

12.如权利要求7所述的图像取得装置，其特征在于：

所述摄像元件能够切换所述滚动读出的读出方向。

13.如权利要求8所述的图像取得装置，其特征在于：

所述摄像元件能够切换所述滚动读出的读出方向。