[发明专利]图像取得装置、制作试样的焦点图的方法以及系统

摘要

在图像取得装置(1)中，使相对于试样(S)的物镜(25)的视野位置(V)移动且在物镜(25)的光轴方向上使相对于试样(S)的物镜(25)的焦点位置往复移动。由此，与相对于试样(S)的物镜(25)的视野位置(V)的移动一起，能够按顺序取得在视野位置(V)上的图像数据的对比度信息。另外，在图像取得装置(1)中，对应于物镜(25)的焦点位置的往复移动实施由摄像元件(6)的滚动读出进行的图像数据的取得。因此，物镜(25)的焦点位置的每次扫描所计算出的对准焦点信息的数目也会稳定，并且能够迅速而且高精度地制作焦点图。

主权项

一种图像取得装置，其特征在于：具备：工作台，载置试样；导光光学系统，包含以与所述工作台上的所述试样相对峙的方式配置的物镜；摄像元件，对由所述导光光学系统导光后的所述试样的光学图像进行摄像；对准焦点计算部，基于来自所述摄像元件的图像数据，计算所述试样的对准焦点信息；焦点图制作部，基于所述对准焦点信息制作所述试样的焦点图；第1驱动部，使相对于所述试样的所述物镜的视野位置移动；第2驱动部，变更相对于所述试样的所述物镜的焦点位置；以及控制部，控制所述摄像元件、所述第1驱动部以及所述第2驱动部，所述摄像元件是具有多列像素列并且能够滚动读出的二维摄像元件，所述控制部以一边使相对于所述试样的所述物镜的视野位置移动一边使相对于所述试样的所述物镜的焦点位置在所述物镜的光轴方向上往复移动的方式控制所述第1驱动部以及所述第2驱动部并且实施由所述摄像元件的滚动读出进行的所述图像数据的取得，所述焦点图制作部基于由所述对准焦点计算部计算出的多个对准焦点信息来制作焦点图。