[发明专利]图像取得装置、制作试样的焦点图的方法以及系统

权利要求书

1.一种图像取得装置，其特征在于：

具备：

工作台，载置试样；

导光光学系统，包含以与所述工作台上的所述试样相对峙的方式配置的物镜；

摄像元件，对由所述导光光学系统导光后的所述试样的光学图像进行摄像；

对准焦点计算部，基于来自所述摄像元件的图像数据，计算所述试样的对准焦点信息；

焦点图制作部，基于所述对准焦点信息制作所述试样的焦点图；

第1驱动部，使相对于所述试样的所述物镜的视野位置移动；

第2驱动部，变更相对于所述试样的所述物镜的焦点位置；以及

控制部，控制所述摄像元件、所述第1驱动部以及所述第2驱动部，

所述摄像元件是具有多列像素列并且能够滚动读出的二维摄像元件，

所述控制部以一边使相对于所述试样的所述物镜的视野位置移动一边使相对于所述试样的所述物镜的焦点位置在所述物镜的光轴方向上往复移动的方式控制所述第1驱动部以及所述第2驱动部并且实施由所述摄像元件的滚动读出进行的所述图像数据的取得，

所述焦点图制作部基于由所述对准焦点计算部计算出的多个对准焦点信息来制作焦点图。

2.如权利要求1所述的图像取得装置，其特征在于：

所述控制部具有范围决定部，所述范围决定部决定由所述第2驱动部得到的相对于所述试样的所述物镜的焦点位置的关于所述物镜的光轴方向的往复移动的条件。

3.如权利要求2所述的图像取得装置，其特征在于：

所述范围决定部在计算一个对准焦点信息的时候基于在所述一个对准焦点信息之前被计算出的对准焦点信息来决定所述往复移动的折返位置上的所述物镜的焦点位置。

4.如权利要求2所述的图像取得装置，其特征在于：

所述范围决定部使所述物镜的焦点位置的关于所述物镜的光轴方向的变更宽度在所述往复移动的每个去程以及每个回程可变。

5.如权利要求3所述的图像取得装置，其特征在于：

所述范围决定部使所述物镜的焦点位置的关于所述物镜的光轴方向的变更宽度在所述往复移动的每个去程以及每个回程可变。

6.如权利要求1～5中的任意一项所述的图像取得装置，其特征在于：

所述焦点图制作部基于由所述物镜的焦点位置的往复移动而在去程中被计算出的对准焦点信息以及在回程中被计算出的对准焦点信息中的至少一方的对准焦点信息来制作所述焦点图。

7.如权利要求1～5中的任意一项所述的图像取得装置，其特征在于：

所述控制部具有设定相对于所述试样的二维图像取得区域并且设定在所述图像取得区域中在一个方向上进行延伸的多条摄像线的摄像线设定部，

所述控制部以从由所述摄像线设定部设定的所述摄像线选择一条或者多条所述摄像线并且关于所选择的所述摄像线使相对于所述试样的所述物镜的视野位置进行移动的方式控制所述第1驱动部。

8.如权利要求6所述的图像取得装置，其特征在于：

所述控制部具有设定相对于所述试样的二维图像取得区域并且设定在所述图像取得区域中在一个方向上进行延伸的多条摄像线的摄像线设定部，

所述控制部以从由所述摄像线设定部设定的所述摄像线选择一条或者多条所述摄像线并且关于所选择的所述摄像线使相对于所述试样的所述物镜的视野位置进行移动的方式控制所述第1驱动部。

9.如权利要求7所述的图像取得装置，其特征在于：

所述焦点图制作部基于遍及所述多条摄像线进行计算的所述对准焦点信息来制作所述焦点图。

10.如权利要求8所述的图像取得装置，其特征在于：

所述焦点图制作部基于遍及所述多条摄像线进行计算的所述对准焦点信息来制作所述焦点图。

11.如权利要求1～5中的任意一项所述的图像取得装置，其特征在于：

所述控制部以所述试样上的规定部位的光学图像在所述摄像元件的各个像素列上被曝光的方式使由所述第1驱动部得到的在所述物镜的视野内的所述试样的规定部位的移动与所述摄像元件的滚动读出相同步。