[发明专利]电弧蒸发金属靶材、金属间化合物靶材和陶瓷靶材以制造Al-Cr-N涂层在审
| 申请号： | 201480021672.9 | 申请日： | 2014-04-14 |
| 公开（公告）号： | CN105164306A | 公开（公告）日： | 2015-12-16 |
| 发明（设计）人： | 科琳娜·萨比策;耶格·保里契;皮特·布尔西克;保罗·H·迈尔霍菲尔;理查德·哈赫鲍尔;米利亚姆·阿恩特 | 申请（专利权）人： | 欧瑞康表面处理解决方案股份公司特鲁巴赫 |
| 主分类号： | C23C14/32 | 分类号： | C23C14/32;H01J37/32 |
| 代理公司： | 北京海虹嘉诚知识产权代理有限公司 11129 | 代理人： | 张涛 |
| 地址： | 瑞士特*** | 国省代码： | 瑞士;CH |
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| 摘要： | 本发明涉及借助粉末冶金制造的靶的电弧蒸发，其中成分以金属间化合物的形式存在。为了靶制造而采用以下粉末，该粉末包含第一金属间化合物和第二金属间化合物和/或第一陶瓷化合物和第二陶瓷化合物。 | ||
| 搜索关键词： | 电弧 蒸发 金属 化合物 陶瓷 制造 al cr 涂层 | ||
【主权项】：
一种借助阴极电弧蒸发涂覆基材的方法，其特征是，作为用于电弧蒸发的材料源，采用粉末冶金制造的靶，其中，被用于靶制造的粉末包含第一金属间化合物和第二金属间化合物。
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