[发明专利]氧化锌系烧结体及其制造方法和溅射靶以及透明导电膜有效
| 申请号： | 201480011513.0 | 申请日： | 2014-02-20 |
| 公开（公告）号： | CN105008306B | 公开（公告）日： | 2017-04-26 |
| 发明（设计）人： | 窪内裕太 | 申请（专利权）人： | 住友金属矿山株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C04B35/453 |
| 代理公司： | 隆天知识产权代理有限公司72003 | 代理人： | 张永康,李英艳 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明的课题是提供一种氧化锌系烧结体及其制造方法等，其中，该氧化锌系烧结体在采用溅射法制造在CIGS系太阳能电池的缓冲层等中适用的高电阻的透明导电膜时，能够抑制异常放电(电弧放电)的发生。本发明的解决方案是提供一种氧化锌系烧结体，其特征在于，其含有以氧化物换算为0.01～1质量％的从由Mg、Al、Ti、Ga、In和Sn所组成的组中选出的至少一种的添加元素，并且含有20质量ppm以上且200质量ppm以下的Si元素，并且，在烧结体中的氧化锌的结晶粒径为25～100μm，在烧结体中上述Si元素以含Si的5μm以下的晶粒的方式存在，并且在烧结体中的氧化锌的晶界上不析出含Si的上述晶粒。另外，上述烧结体的制造方法，其特征在于，作为Si元素的供给源使用具有硅氧烷结构的在室温呈液状的硅化合物，并且将成型体的烧成温度设定为900～1400℃的范围。 | ||
| 搜索关键词： | 氧化锌 烧结 及其 制造 方法 溅射 以及 透明 导电 | ||
【主权项】：
一种氧化锌系烧结体，其是以氧化锌作为主要成分的氧化锌系烧结体，其特征在于，其含有以氧化物换算为0.01～1质量％的从由Mg、Al、Ti、Ga、In和Sn所组成的组中选出的至少一种的添加元素，并且含有20质量ppm以上且200质量ppm以下的Si元素，并且，在烧结体中的氧化锌的结晶粒径为25～100μm，在烧结体中所述Si元素以含Si的5μm以下的晶粒的方式存在，并且在烧结体中的氧化锌的晶界上不析出含Si的所述晶粒。
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