[发明专利]在活性等离子中用于原位测量的高温传感器晶片

摘要

本发明的方面揭示一种工艺条件测量装置中的组件模块，其包括：支架，其用于支撑组件；一或多个支腿，其经配置以使所述支架悬挂为相对于衬底呈隔开关系。导电或低电阻半导体外壳经配置以在所述衬底与所述外壳之间围封所述组件、所述支架及所述支腿。应强调，提供本摘要是为了符合规则，所述规则要求将允许研究者或其他读者快速确定本技术揭示内容的标的物的摘要。本摘要是在其不得用于解释或限制所附权利要求书的范围或含义的前提下提交的。

主权项

1.一种工艺条件测量装置中的组件模块，其包括：支架，其经配置以支撑组件；一或多个支腿，其经配置以使所述支架悬挂为相对于衬底呈隔开关系；及导电或低电阻半导体外壳，其经配置以围封所述组件、所述支架及所述一或多个支腿，其中所述一或多个支腿在一端上附接到所述外壳的顶部部分且经配置以在另一端上悬挂所述支架，或在一端上附接到所述外壳的一侧且经配置以在另一端上悬挂所述支架。