[实用新型]用于防污膜镀膜的自动清理加液滴嘴

摘要

本实用新型涉及真空镀膜领域，尤其涉及用于防污膜镀膜的自动清理加液滴嘴，特别适用于真空镀膜领域中对液态有机蒸镀材料进行精确计量并加注装置，其特征在于：所述密封堵头底部固定连接一密封针，所述密封针与所述排液管道的内轮廓形状、大小吻合适配，所述密封针的长度不小于所述排液管道的长度，且当所述密封堵头封堵于所述排液管道的上部开口时，所述密封针的端头部伸出于所述滴药口。本实用新型的优点是：可以有效防止滴药泄漏、造成压力不稳而影响成膜质量；可以有效防止堵塞，免除频繁维护保养的成本、提高了设备稼动率。

主权项

一种用于防污膜镀膜的自动清理加液滴嘴，包括一滴药阀，所述滴药阀底部具有排液管道，所述排液管道的上部开口与所述滴药阀连通，所述排液管道的下部开口为滴药口，所述滴药阀内位于所述排液管道的上部开口端具有一密封堵头，所述密封堵头在所述上部开口端的起、落动作由所述滴药阀连接控制，所述密封堵头的起、落动作用于打开或封堵所述排液管道的上部开口，其特征在于：所述密封堵头底部固定连接一密封针，所述密封针与所述排液管道的内轮廓形状、大小吻合适配，所述密封针的长度不小于所述排液管道的长度，且当所述密封堵头封堵于所述排液管道的上部开口时，所述密封针的端头部伸出于所述滴药口。