[实用新型]用于防污膜镀膜的自动清理加液滴嘴有效
申请号: | 201420803726.4 | 申请日: | 2014-12-18 |
公开(公告)号: | CN204369973U | 公开(公告)日: | 2015-06-03 |
发明(设计)人: | 张洪;汪洋 | 申请(专利权)人: | 光驰科技(上海)有限公司 |
主分类号: | C23C14/24 | 分类号: | C23C14/24;C23C14/12 |
代理公司: | 上海申蒙商标专利代理有限公司 31214 | 代理人: | 徐小蓉 |
地址: | 200444 上海市宝*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 用于 防污 镀膜 自动 清理 加液滴嘴 | ||
技术领域
本实用新型涉及真空镀膜领域,尤其涉及用于防污膜镀膜的自动清理加液滴嘴,特别适用于真空镀膜领域中对液态有机蒸镀材料进行精确计量并加注装置。
背景技术
防污膜已被应用于触摸屏和镜头等多种光电元件中。尤其是,随着信息技术的发展,近年来市场对于触摸屏产品的需求迅猛增长。为了增加以触摸屏为主的多种光电产品的防污效果,在其表面镀制防污膜已经成为必不可少的工序。
目前,防污膜一般采用真空蒸镀方法进行镀膜。为了应对市场需求的激增,研发自动化程度高、可以实现不间断生产的连续式防污膜镀膜设备变得日益重要。防污膜镀膜原材料可以是由防污膜料吸附在载体上形成的固体药片,亦可以是防污膜原液。其中液态防污膜料以其低成本和易于精确定量而成为连续镀膜的优选。对于在连续式镀膜机中的液态防污膜料的加液装置中的常规滴液阀,其末端的滴嘴通常不会突出于排液管道的远端,如图3。这样,由于防污膜有机溶液的挥发性和黏度较大,在有空气接触的情况下,加液装置的滴药口易堵塞、需要靠频繁的保养来解决。
发明内容
本实用新型的目的是根据上述现有技术的不足,提供了用于防污膜镀膜的自动清理加液滴嘴,配合容积式计量阀的开关而开关,避免泄漏;突出于滴药口的密封针的设置可以完成自动清理排液管道内的结晶堵塞。
本实用新型目的实现由以下技术方案完成:
一种用于防污膜镀膜的自动清理加液滴嘴,包括一滴药阀,所述滴药阀底部具有排液管道,所述排液管道的上部开口与所述滴药阀连通,所述排液管道的下部开口为滴药口,所述滴药阀内位于所述排液管道的上部开口端具有一密封堵头,所述密封堵头在所述上部开口端的起、落动作由所述滴药阀连接控制,所述密封堵头的起、落动作用于打开或封堵所述排液管道的上部开口,其特征在于:所述密封堵头底部固定连接一密封针,所述密封针与所述排液管道的内轮廓形状、大小吻合适配,所述密封针的长度不小于所述排液管道的长度,且当所述密封堵头封堵于所述排液管道的上部开口时,所述密封针的端头部伸出于所述滴药口。
所述密封针的端头部呈V字形。
所述密封堵头与所述排液管道的相邻面上互相对应设置有斜面,以实现二者的相邻面在互相接触时构成相互限位。
所述密封堵头与所述密封针为一体成型结构。
本实用新型的优点是:可以有效防止滴药泄漏、造成压力不稳而影响成膜质量;可以有效防止堵塞,免除频繁维护保养的成本、提高了设备稼动率。
附图说明
图1为本实用新型的第一种结构示意图;
图2为本实用新型的第二种结构示意图;
图3为现有技术中加液滴嘴的结构示意图。
具体实施方式
以下结合附图通过实施例对本实用新型特征及其它相关特征作进一步详细说明,以便于同行业技术人员的理解:
如图1-3所示,图中标记1-8分别为:滴药阀1、密封堵头2、排液管道3、气体管路4、坩埚5、易结晶区域6、密封针7、滴药口8。
实施例一:如图1所示,本实施例中用于防污膜镀膜的自动清理加液滴嘴包括滴药阀1,滴药阀1的底部开设有一中空的排液管道3,排液管道3的上部开口与滴药阀1的阀体相连通以传输镀液,排液管道3的下部开口为滴药口8,滴药口8对准坩埚5,坩埚5为镀膜时的镀液盛放容器。呈中空的排液管道3上部开口具有密封堵头2,密封堵头2由滴药阀1连接控制起、落动作,密封堵头2的起、落动作作用于打开或封堵排液管道3的上部开口。排液管道3与密封堵头2之间的相邻面互相对应设置有斜面,以实现二者的相邻面在互相接触时构成相互限位,以保证密封堵头2的起、落动作均能完全打开或封堵排液管道3的上部开口。密封堵头2的底部固定连接有一密封针7,密封针7的外轮廓形状、大小与排液管道3的内轮廓形状、大小吻合适配,密封针7的长度不小于排液管道3的长度,当密封堵头1受滴药阀1控制下落封堵于排液管道3的上部开口时,密封针7的端头部伸出于排液管道3的滴药口8,此时排液管道3由密封针7完全封堵密封。滴药阀1一侧连接有气体管路4,气体管路4为气动控制滴药阀1的启闭的空气动力源。
本实施例在具体实施时:由于现有技术中加液滴嘴的密封堵头2仅仅封堵排液管道3上方开口,但未封堵排液管道3内部的空间,而由排液管道3传输的防污膜有机溶液的挥发性和黏度较大,在加液、加热等工序中会发生与空气接触的情况,所以镀液会在排液管道3内形成易结晶区域6,如图3所示。易结晶区域6的生成会堵塞排液管道3,从而无法进行下次的自动加液。
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