[实用新型]一种与ZnO薄膜高效匹配的LED芯片结构有效

专利信息
申请号: 201420797017.X 申请日: 2014-12-17
公开(公告)号: CN204289496U 公开(公告)日: 2015-04-22
发明(设计)人: 李方芳;郝锐;叶国光;许德裕;王波;易翰翔;刘洋;吴光芬 申请(专利权)人: 广东德力光电有限公司
主分类号: H01L33/04 分类号: H01L33/04;H01L33/00
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 529000 *** 国省代码: 广东;44
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摘要: 实用新型公开了一种与ZnO薄膜高效匹配的LED芯片结构,包括衬底和在衬底上形成的外延层,其特征在于:所述的外延层上包括接触层和形成于接触层上的ZnO透明导电层,所述的接触层由本征AlxInyGa1-x-yN、P型AlxInyGa1-x-yN和N型AlxInyGa1-x-yN的一种材料层组成或由两种或三种材料层组成超晶格层,同时也介绍了该接触层的制作方法,其含量通过改变In源流量、Al源流量、生长温度和生长压力等参数来实现。本实用新型所提供的ZnO-LED芯片结构,改善了ZnO做透明导电层时面临的电压高、ESD差和漏电大等问题,具有接触性好、电压低、吸光少的优点,从而有效提升了LED器件的光提取率。
搜索关键词: 一种 zno 薄膜 高效 匹配 led 芯片 结构
【主权项】:
一种与ZnO薄膜高效匹配的LED芯片结构,包括衬底和在衬底上形成的外延层,其特征在于:所述的外延层上包括接触层和形成于接触层上的ZnO透明导电层,所述的接触层由本征AlxInyGa1‑x‑yN、P型AlxInyGa1‑x‑yN和N型AlxInyGa1‑x‑yN的一种材料层组成或由两种或三种材料层组成超晶格层,其中0<x<1,0<y<1,且0<x+y<1。
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