[实用新型]一种用于连续真空蒸镀的自动送料装置有效
| 申请号： | 201420788004.6 | 申请日： | 2014-12-11 |
| 公开（公告）号： | CN204251704U | 公开（公告）日： | 2015-04-08 |
| 发明（设计）人： | 施戈;彭建;陈良贤 | 申请（专利权）人： | 北京泰科诺科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56;C23C14/24 |
| 代理公司： | 北京金智普华知识产权代理有限公司 11401 | 代理人： | 皋吉甫 |
| 地址： | 102212 北京市昌*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种用于连续真空蒸镀的自动送料装置，属于真空镀膜和表面加工领域，可应用于各种真空蒸镀设备的腔室内；一种用于连续真空蒸镀的自动送料装置，所述自动送料装置包括真空腔室，还包括固定在真空腔室外部的动力单元及固定在真空腔室内部的自动送丝组件，所述动力单元与自动送丝组件通过磁流体密封轴连接；其中自动送丝组件包括主动轮、从动轮、丝锟、送丝导向器及蒸镀单元；本实用新型的有益效果：通过调速电机提供动力，可持续进行送丝，实现连续镀膜。节省了很多时间、人力和物力。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 连续 真空 自动 装置 | ||
【主权项】：
一种用于连续真空蒸镀的自动送料装置，所述自动送料装置包括真空腔室，其特征在于：还包括固定在真空腔室外部的动力单元及固定在真空腔室内部的自动送丝组件，所述动力单元与自动送丝组件通过磁流体密封轴连接；其中自动送丝组件包括主动轮、从动轮、丝锟、送丝导向器及蒸镀单元。
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