[实用新型]一种化学液在线加热控制系统

摘要

本实用新型公开了一种化学液在线加热控制系统，根据设定温度，通过以主管路第一加热器的加热元件温度为内环反馈值，以主管路出口的化学液温度为外环反馈值，以入口管路的化学液入口压力为前馈值，输出第一加热器的加热功率，控制将主管路出口的化学液温度加热至设定温度；并通过以各支路出口的化学液温度为反馈值，分别输出各支路第二加热器的加热功率，在线控制将各支路出口的化学液温度加热至各自工艺腔室的清洗目标温度，可有效减小管路压力和流量的波动对主管路出口化学液温度的影响，保证进入多工艺腔室的化学液温度的一致稳定性，提高化学液的控温精度，缩短温度调节时间。

主权项

一种化学液在线加热控制系统，用于对具有多工艺腔室的半导体单片清洗设备的化学液供给管路进行清洗温度控制，所述供给管路包括依次连接的入口管路、主管路及多路并行支路，各所述支路的出口分别连接各所述工艺腔室，其特征在于，包括：加热器，包括设于所述主管路的第一加热器及分别设于各所述支路的第二加热器，分别用于对所述主管路及各所述支路的化学液进行加热；压力传感器，所述压力传感器设于所述入口管路，用于检测化学液的入口压力；温度传感器，包括设于靠近所述主管路出口的第一温度传感器、分别设于靠近各所述支路出口的第二温度传感器，以及连接所述第一加热器加热元件的第三温度传感器，分别用于检测所述主管路出口、各所述支路出口的化学液温度，以及检测所述第一加热器的加热元件温度；控制单元，分别与所述压力传感器、各所述温度传感器以及各所述加热器连接，所述控制单元根据设定温度，通过以所述第一加热器的加热元件温度为内环反馈值、以所述主管路出口的化学液温度为外环反馈值、以所述入口管路的化学液入口压力为前馈值，输出所述第一加热器的加热功率，控制将所述主管路出口的化学液温度加热至设定温度；并通过以各所述支路出口的化学液温度为反馈值，分别输出各所述第二加热器的加热功率，在线控制将各所述支路出口的化学液温度加热至各自所述工艺腔室的清洗目标温度。